文献

J-GLOBAL ID：202002268177820603   整理番号：20A2442988

強誘電体負性容量勾配静電MEMSハイブリッドアクチュエータの動力学を解析するためのSPICEベースマルチフィジックスモデル【JST・京大機械翻訳】

SPICE-Based Multiphysics Model to Analyze the Dynamics of Ferroelectric Negative-Capacitance-Electrostatic MEMS Hybrid Actuators

著者 (2件)： Raman Raghuram Tattamangalam (Electrical Engineering, Indian Institute of Technology (IIT) Palakkad, Palakkad, India) ,  Ajoy Arvind (Electrical Engineering, Indian Institute of Technology (IIT) Palakkad, Palakkad, India)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 67  号： 11  ページ： 5174-5181  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 強誘電性の負容量インピーダンス静電マイクロ電気機械システム(MEMS)ハイブリッドアクチュエータをモデル化するために,集積回路強調(SPICE)ベースのマルチフィジックスフレームワークを用いたシミュレーションプログラムを提案した。著者らのアプローチは,強誘電体キャパシタとMEMSアクチュエータの両方の非線形動力学を結合した。このフレームワークを用いて,ハイブリッドアクチュエータのプルインスイッチング中に消費される動的応答とエネルギー消費を調べた。スタンドアロンMEMSアクチュエータと比較して,動的プルインとプルアウト電圧とハイブリッドアクチュエータで消費されるエネルギーの大幅な低減を予測した。しかし,ハイブリッドアクチュエータのプルイン時間はスタンドアロンアクチュエータのそれより大きいことも予測した。それにもかかわらず,1つは,ハイブリッドおよびスタンドアロンMEMSアクチュエータにおいて,同じプルイン時間を達成するために,作動電圧の低減の小さい部分をトレードオフすることができ,一方,後者と比較して,前者において実質的に低いエネルギーを消費することを示した。本解析法は,標準回路シミュレータと互換性があり,従って,ハイブリッドMEMSアクチュエータと他の電子デバイスから成る様々な不均一系の解析と評価に適している。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： インピーダンス ,  *強誘電体 ,  集積回路 ,  電圧 ,  互換性 ,  動的応答 ,  強誘電性 ,  アクチュエータ ,  エネルギー消費 ,  不均一系 ,  非線形力学 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 電子素子 ,  回路シミュレータ ,  *マルチフィジックス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  LCR部品  (NA05030D)

タイトルに関連する用語 (8件)： 強誘電体 ,  負性容量 ,  勾配 ,  MEMS ,  アクチュエータ ,  動力学 ,  解析 ,  SPICE