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J-GLOBAL ID:202002268342800615   整理番号:20A1086197

AlGaN深紫外検出器の性能向上のための金属-有機化学蒸着によるAl表面プラズモンナノ粒子のその場作製【JST・京大機械翻訳】

In situ fabrication of Al surface plasmon nanoparticles by metal-organic chemical vapor deposition for enhanced performance of AlGaN deep ultraviolet detectors
著者 (10件):
資料名:
巻:号:ページ: 1854-1858  発行年: 2020年 
JST資料番号: W5051A  ISSN: 2516-0230  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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Alナノ粒子(NPs)はプラズモン増強AlGaNベース紫外(UV)光検出器の効率的な選択であることが証明されている。以前の研究は主にAl NPsのex situ調製に焦点を当ててきたが,Al NPsのその場成長はより望ましい。本研究では,第一原理計算によりAlGaNベースUV光検出器上のAl表面プラズモンNPのその場成長の可能性を予測し,有機金属化学蒸着により実験的に実現した。その場成長したAl表面プラズモンをもつ金属-半導体-金属型AlGaNベース光検出器に対して,応答性のピークは288nmであり,10VバイアスにおいてAl NPのない場合よりも9倍も増強された。本研究におけるAl NPsのその場成長法は,AlGaNベースのUV光電素子の性能を改善するための効率的な方法を提供する。Copyright 2020 Royal Society of Chemistry All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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測光と光検出器一般  ,  半導体薄膜 

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