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J-GLOBAL ID:202002268435131001   整理番号:20A0143975

4つの長方形サブ開口を持つスパース開口の構造パラメータの最適化【JST・京大機械翻訳】

Optimization of structural parameters of sparse apertures with four rectangular sub-apertures
著者 (3件):
資料名:
巻: 11341  ページ: 1134113-7  発行年: 2019年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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展開可能な鏡のための4つの長方形サブ開口部から成るまばらな開口部を提示した。解析の前にR-Cシステムを設計した。瞳関数と変調伝達関数(MTF)を計算し,解析した。この開口を有する回折制限システムのMTFの厳密な表現を与えた。部分的方向におけるMTFの最小値が高いとき,部分的方向におけるMTFの最小値がゼロに近いという問題を解決するために,サブ開口構成をMTF最小とサブ開口の長さ幅比率の間の関係曲線に基づいて最適化した。本論文では,MTF平均および平均MTF曲線を含む,四つの長方形サブ開口スパース開口構造に対する計算法に沿ったMTF評価指標を与えた。システムの画像シミュレーションは,非最適化構造の分解能が水平および垂直方向において低く,一方,最適化構造の画像品質がすべての方向において同様に高いことを示した。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
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固体プラズマ  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
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