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J-GLOBAL ID：202002268475456596   整理番号：20A0078846

高コントラストサブ波長格子を組み込んだVCSELを用いたビーム成形の実現【JST・京大機械翻訳】

Realization of beam shaping using VCSEL incorporating a high-contrast subwavelength grating

著者 (4件)： Qiu Pingping (Institute of Semiconductors (China)) ,  Li Ming (Institute of Semiconductors (China)) ,  Xie Yiyang (Beijing Univ. of Technology (China)) ,  Kan Qiang (Institute of Semiconductors (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11182  ページ： 111820G-6  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,高コントラストサブ波長格子(HCG)を組み込んだ垂直共振器面発光レーザ(VCSEL)の遠方場特性を有限差分時間領域(FDTD)法により解析した。完全三次元シミュレーションを,FDTD解法ソフトウェアを利用することによって実行した。著者らは,Al_0.98Ga_0.02Asスペーサ層の湿式酸化によって定義されるGaAs/AlOxから作られたHCGのパラメータを研究した。異なるHCG周期と酸化物開口直径を持つHCG-VCSELをシミュレートした。設計したHCG-VCSELにより,単一ローブ,二重ローブ,三重ローブ形状を含む種々の遠方場パターンを得た。より興味深いことに,HCG周期と酸化物開口直径を調整することにより,遠方場放出パターンは二重ローブから単一ローブ形状へと変化した。二つのパラメータの適切な設計により,Gauss型ビーム出力,二重ローブまたは多重ローブビームを得ることができた。格子周期23と酸化物開口直径8μmで得られたGauss様基本モードの遠方場発散角の半値全幅(FWHM)は5度以下であった。これはVCSELの発光特性をエンジニアリングするための新しい道を開き,実際のデバイス作製のためのガイドラインを提供する。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 基準モード ,  遠方場 ,  酸化物 ,  湿式酸化 ,  共振器 ,  FWHM ,  有限差分時間領域法 ,  *垂直共振器形面発光レーザ ,  正規分布 ,  面発光レーザ ,  ソフトウェア ,  多重化 ,  ヒ化ガリウム ,  *ビーム成形
準シソーラス用語： 時間領域 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 半導体レーザ  (BD04070L) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高コントラスト ,  サブ波長格子 ,  VCSEL ,  ビーム成形