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J-GLOBAL ID:202002268531558968   整理番号:20A0916278

弱結合共振器における超高感度力変換【JST・京大機械翻訳】

Ultra-Sensitive Force Transduction in Weakly Coupled Resonators
著者 (7件):
資料名:
巻: 2020  号: MEMS  ページ: 795-798  発行年: 2020年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文は,最初に,著しいモード重なりを示す弱結合共振器を用いた変換器構成に関する報告である。既存の多モード/モード局在化センサは,モード重なりが無視できる領域で通常動作する。しかし,理論的には,このようなシステムの感度は共振器間の結合強度が減少すると著しく増加し,システムをモード重なりによって記述される領域に移動させる。本研究では,モード重なり領域における動作を,入力参照分解能と安定性における結果としての利点により可能にした。具体的には,静電剛性摂動を受ける結合共振器マイクロシステムは33682の感度増強と28.2ppbの入力参照振幅比安定性を示し,共振周波数シフト法と比較して分解能が約3x改善されることを実証した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 
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