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J-GLOBAL ID：202002268767401958   整理番号：20A0426828

特殊な低温走査型トンネル顕微鏡と統合したコンビナトリアルレーザ分子ビームエピタクシー系【JST・京大機械翻訳】

Combinatorial laser molecular beam epitaxy system integrated with specialized low-temperature scanning tunneling microscopy

著者 (9件)： He Ge (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Wei Zhongxu (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Feng Zhongpei (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Yu Xiaodong (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Zhu Beiyi (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Liu Li (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Jin Kui (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Yuan Jie (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ,  Huan Qing (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 91  号： 1  ページ： 013904-013904-9  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 組合せレーザ分子線エピタクシーシステムとその場走査トンネル顕微鏡(STM)からなる新しく開発した装置を紹介した。この施設は,先進的な高スループット膜合成技術による高効率な方法で材料研究を加速し,表面形態と電子状態を高速に特性化することを目的としている。従来の方法で堆積した均一膜と比較して,いわゆる組合せ薄膜は,回転マスク法から生じる化学的置換や試料厚さのようなパラメータの改善された制御により,異なる材料の正確な相図を決定するのに有益である。低温および超高真空条件下で動作する特別に設計したSTMを,サブミクロン位置精度をもつ15mm×15mmのXY粗運動範囲における組合せ薄膜の特性化のために最適化した。全体構成と試料ホルダ設計,スキャナヘッド,サンプル/チップ/ターゲット移動機構などのいくつかの重要な側面を詳細に記述した。この素子の性能を,高配向熱分解グラファイト,Au(111),Bi_2Sr_2CaCu_2O_8+δ(BSCCO)およびFeSeの勾配厚さおよびイメージング表面を有する高品質超伝導FeSe薄膜を合成することによって実証した。さらに,トンネリング接合のクリーンな雑音スペクトルとBSCCOの超伝導エネルギーギャップを得た。このような設備の製造の成功は,実験材料研究のために設計された次世代装置のための新しい窓を開く。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電子状態 ,  接合 ,  グラファイト ,  最適化 ,  超伝導 ,  *低温 ,  画像処理 ,  トンネル効果 ,  超高真空 ,  キャラクタリゼーション ,  *MBE成長 ,  *走査型トンネル顕微鏡 ,  状態図 ,  薄膜 ,  熱分解

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： 低温 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  統合 ,  分子ビームエピタクシー