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J-GLOBAL ID：202002269237710456   整理番号：20A1898648

生物試料の3D計測学のための自己集合に基づくステップ高さ標準【JST・京大機械翻訳】

Step height standards based on self-assembly for 3D metrology of biological samples

著者 (12件)： Heikkinen V (VTT MIKES, Tekniikantie 1, 02150 Espoo, Finland) ,  Kassamakov I (University of Helsinki, Fabianinkatu 33, 00014 Helsinki, Finland) ,  Viitala T (University of Helsinki, Fabianinkatu 33, 00014 Helsinki, Finland) ,  Jaervinen M (University of Helsinki, Fabianinkatu 33, 00014 Helsinki, Finland) ,  Vainikka T (University of Helsinki, Fabianinkatu 33, 00014 Helsinki, Finland) ,  Nolvi A (University of Helsinki, Fabianinkatu 33, 00014 Helsinki, Finland) ,  Bermudez C (Sensofar Tech SL, Parc Audiovisual de Catalunya Ctra BV-1274 Km 1, 08225 Terrassa, Barcelona, Spain) ,  Artigas R (Sensofar Tech SL, Parc Audiovisual de Catalunya Ctra BV-1274 Km 1, 08225 Terrassa, Barcelona, Spain) ,  Martinez P (Sensofar Tech SL, Parc Audiovisual de Catalunya Ctra BV-1274 Km 1, 08225 Terrassa, Barcelona, Spain) ,  Korpelainen V (VTT MIKES, Tekniikantie 1, 02150 Espoo, Finland) ,  Lassila A (VTT MIKES, Tekniikantie 1, 02150 Espoo, Finland) ,  Haeggstrom E (University of Helsinki, Fabianinkatu 33, 00014 Helsinki, Finland)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 31  号： 9  ページ： 094008 (5pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： コヒーレンス走査干渉計(CSI)のような最新の顕微鏡とプロフィルメータは,高さ測定におけるサブnm精度をサブnmする。すべての測定サイズ尺度における移動基準は,任意の規模でトレーサビリティを保証するために必要であり,これらの機器の全ポテンシャルを利用するが,測定試料のそれらに対する反射に対する類似の特性を有する移動基準が好ましい。これは,シリコン,シリカまたは金属に対して10nm以下の寸法の試料および異なる光学特性を有するバイオサンプルに対して,現在は事例ではない。追跡可能な寸法を有するバイオ試料の3D画像の必要性に対処するために,著者らは,天然自己集合によって保証された寸法を有する移動標準と,典型的なバイオサンプルと光学的に類似した材料を導入した。原子間力顕微鏡(AFM)を用いて最初にそれらを較正し,次いでCSIを較正するために,これらの移動基準の機能性を試験した。CSIシステムの有用なキャリブレーションを可能にするため,十分なキャリブレーション精度を達成できるかどうかを検討した。結果は,キャリブレーション不確実性がサンプルのためにわずかに増加するだけである。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 干渉計 ,  光学的性質 ,  コヒーレンス ,  不確実性 ,  ケイ素 ,  二酸化ケイ素 ,  *生体試料 ,  プロフィルメータ ,  三次元測定 ,  トレーサビリティ ,  原子間力顕微鏡 ,  *自己集合
準シソーラス用語： 三次元画像 ,  高さ測定 ,  機能性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 生物試料 ,  3D計測 ,  自己集合 ,  高さ ,  標準