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J-GLOBAL ID:202002269707500873   整理番号:20A0216275

宇宙光学アラインメントのためのPZT駆動6自由度位置決めシステム【JST・京大機械翻訳】

A PZT Actuated 6-DOF Positioning System for Space Optics Alignment
著者 (5件):
資料名:
巻: 24  号:ページ: 2827-2838  発行年: 2019年 
JST資料番号: W0894A  ISSN: 1083-4435  CODEN: IATEFW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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作製技術の限界により,大開口空間光学ミラーは,モノリシックに作製されるよりも,常にいくつかの小さなセグメントに接続される。このシステムの画像品質を保証するために,各セグメントはミリメータレベル範囲でミクロンレベルの精度で整列する必要がある。この目的のために,本論文では,3つの連続的に接続されたパラレルメカニズムから成るPZT作動6軸高精度位置決めシステムを提案した。Stewartプラットフォームのような以前の6-DOF位置決め解と比較して,提案した設計は比較的コンパクトな構造と簡単な運動学を特徴とする。長ストロークと微細分解能を同時に実現するために,ブリッジ型増幅器を用いてPZT作動のストロークを強化し,たわみヒンジを用いて摩擦とバックラッシを除去した。2種類の外部負荷の下での増幅器の性能を解析して,この増幅器を応用条件に従って設計することができた。さらに,変位センサは,作動モジュールの出力端において使用される必要があり,準拠アント機構において一般的に存在する入力結合を除去する必要があることが分かった。設計の実現可能性を有限要素解析と実験研究により検証した。最大ストロークはZ軸において2.1mmであり,最も細かい分解能はXおよびY軸において0.5μmであった。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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ロボットの設計・製造・構造要素  ,  記憶装置 
タイトルに関連する用語 (5件):
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