文献

J-GLOBAL ID：202002269726409633   整理番号：20A0789414

カーボンナノチューブを用いた高温真空圧力センサ【JST・京大機械翻訳】

High-temperature vacuum pressure sensor using carbon nanotubes

著者 (1件)： Ahn Sung Il (Department of Chemistry Education, Pusan National University, Busan 46241, Republic of Korea)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 268  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 過酷な環境で作動できる圧力センサを開発する目的で,van der Waals力により駆動されるカーボンナノチューブ(CNT)を用いたセンサを研究した。これを達成するために,CNTの変形を真空下で調べた。開発したセンサの感度は温度の上昇と共に増加した。単層CNTsを有するセンサは,合理的な再現性を有する多層CNTsを有するセンサよりも感度が高かった。結果を用いて金属相互接続におけるCNTsの変形に関する以前の理論的報告を解釈し,変形が主に温度に依存することを示唆した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 多層 ,  圧力センサ ,  再現性 ,  *高温 ,  *カーボンナノチューブ ,  相互接続 ,  van der Waals力 ,  センサ

著者キーワード (3件)： - ,  - ,  -

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (3件)： カーボンナノチューブ ,  真空圧 ,  力センサ