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J-GLOBAL ID：202002271718897707   整理番号：20A0006127

Sagnac効果を用いた線形速度の直接測定原理の検証【JST・京大機械翻訳】

Verification of the direct measurement principle of linear velocity using Sagnac effect

著者 (3件)： Nagakubo Ryo (Meiji Univ. (Japan)) ,  Iwata Kodai (Meiji Univ. (Japan)) ,  Sawano Hiroshi (Meiji Univ. (Japan))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11205  ページ： 1120508-6  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 技術の発展により,半導体や液晶のような精密部品を製造するための高速で高精度な加工の要求が増加している。しかし,超精密機械では振動が発生するという問題がある。しかし,加工精度を向上させるためには,工作機械の振動を抑制する必要がある。振動制御システムにおいて,振動は速度フィードバックにより低減される。従来の方法では,加速度を積分することにより速度制御を行う。したがって,誤差が蓄積され,測定速度の精度が低下するという問題がある。現在,線形速度は基準点なしで直接測定できず,一方,角速度は参照なしで直接測定できる。角度速度はSagnac効果を用いて直接測定でき,これは光学ジャイロの基礎である。そこで本研究では,誤差を理論的に引き起こさない線形速度測定法を実現するために,Sagnac効果を用いた線形速度の直接測定原理について検証した。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 工作機械 ,  ジャイロスコープ ,  角速度 ,  線形性 ,  工作精度 ,  速度測定 ,  基準点 ,  加速度 ,  *Sagnac効果 ,  半導体 ,  液晶 ,  振動制御 ,  精密機械 ,  速度制御
準シソーラス用語： 高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： Sagnac効果 ,  線形 ,  測定原理 ,  検証