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J-GLOBAL ID：202002271958462179   整理番号：20A2804330

自己整合プロセスによるカーボンナノチューブ薄膜トランジスタの動作速度増強【JST・京大機械翻訳】

Operation speed enhancement in carbon nanotube thin film transistors by self-aligned process

著者 (4件)： ISHIMARU Saya (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KASHIMA Taiga (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KATAURA Hiromichi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., JPN) ,  OHNO Yuaka (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム講演要旨集  (Abstracts. Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium)
巻： 59th  ページ： 116  発行年： 2020年09月10日 
JST資料番号： L1472A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

本文一部表示： カーボンナノチューブ薄膜トランジスタ(CNT TFT)は,高いキャリア移動度と顕著な柔軟性のため,フレキシブルエレクトロニクス応用に有望である。プラスチックフィルム上の従来のフォトリソグラフィープロセスは,デバイス製作プロセス中の熱収縮によ...【JST・京大機械翻訳】【本文一部表示】

シソーラス用語： アラインメント ,  キャリア移動度 ,  散乱 ,  半導体 ,  プラスチックフィルム ,  *薄膜トランジスタ ,  素子構造 ,  漂遊容量 ,  *自己整合 ,  生産工程 ,  *カーボンナノチューブ
準シソーラス用語： 電流利得 ,  ゲート電極 ,  ボトムゲート ,  フレキシブルエレクトロニクス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自己整合 ,  プロセス ,  カーボンナノチューブ ,  薄膜トランジスタ ,  動作速度 ,  増強