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J-GLOBAL ID：202002272142328036   整理番号：20A1325346

フェムト秒レーザ照射によるCVDダイヤモンドコーティングにおける結晶化の改善【JST・京大機械翻訳】

Improvement of crystallization in CVD diamond coating induced by femtosecond laser irradiation

著者 (4件)： Liu Xiaoxu (Nagoya Institute of Technology, Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, Aichi 466-8555, Japan) ,  Natsume Kohei (Nagoya Institute of Technology, Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, Aichi 466-8555, Japan) ,  Maegawa Satoru (Nagoya Institute of Technology, Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, Aichi 466-8555, Japan) ,  Itoigawa Fumihiro (Nagoya Institute of Technology, Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, Aichi 466-8555, Japan)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 107  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,低フルエンスフェムト秒レーザ照射による化学蒸着(CVD)ダイヤモンド膜の構造改質を,Raman分光法,X線吸収微細構造(XAFS)分光法,およびX線回折(XRD)によって研究した。約20μm厚さの多結晶CVDダイヤモンド膜を,0.1~127.3J/cm2のレーザフルエンス範囲に対応する種々のデフォーカス距離のフェムト秒レーザで照射した。1.27J/cm2以下のフルエンスでは,膜表面の外観に観察可能な変化は無かったが,RamanスペクトルにおけるダイヤモンドピークのFWHMは17から7cm-1までかなり減少することが観察された。さらに,レーザフルエンスの増加によるダイヤモンド相の高い分率は,ダイヤモンド膜の微細構造がフェムト秒レーザによって修正されていることを強く示唆した。XAFS測定を採用することによって,照射後に,前端における弱いπ*微細構造は,π*吸着の顕著な増加に応じてほぼ消滅することが判明した。さらに,明確なダイヤモンド結晶特性ピークが観察され,さらにフェムト秒レーザ誘起改質とバルク膜内のその発生を確認した。XRDの結果は,積分強度による改善されたダイヤモンド結晶性が,フェムト秒照射後約20%増加することを指摘した。上記の結果に基づいて,低フルエンスフェムト秒レーザ照射下のCVDダイヤモンドの結晶性の改善を本研究で確認した。これは非晶質炭素からダイヤモンドへの光誘起相転移に起因する。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Ramanスペクトル ,  X線回折 ,  吸着 ,  *結晶化 ,  *ダイヤモンド ,  *被覆 ,  X線回折分析 ,  多結晶 ,  結晶度 ,  化学蒸着 ,  Raman分光法 ,  フルエンス ,  *フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： レーザフルエンス ,  デフォーカス ,  ダイヤモンド膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： フェムト秒レーザ ,  CVDダイヤモンド ,  コーティング ,  結晶化