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J-GLOBAL ID:202002272680376458   整理番号:20A0636888

タングステン自己照射過程の分子動力学シミュレーション

著者 (4件):
資料名:
巻: 33rd  ページ: 176  発行年: 2019年12月09日 
JST資料番号: L1841A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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【はじめに】タングステン材にヘリウムを照射した場合に見られるファズとよばれるナノ構造の形成メカニズム解明に向けて精力的に研究が行われている。その中で、スパッタされたタングステンの再堆積過程がファズ形成に対して重要な役割を担っている可能性が指...【本文一部表示】
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分類 (2件):
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スパッタリング  ,  計算機シミュレーション 
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