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J-GLOBAL ID：202002273581982051   整理番号：20A0546484

導電性薄膜作製のための銀ナノ粒子のフェムト秒レーザ焼結【JST・京大機械翻訳】

Femtosecond laser sintering of silver nanoparticles for conductive thin-film fabrication

著者 (2件)： Noh Jihun (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang, Republic of Korea) ,  Kim Dongsik (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang, Republic of Korea)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 126  号： 2  ページ： 124  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄い金属膜/パターンを作製するための金属ナノ粒子のフェムト秒レーザ焼結は,種々の応用における薄膜電極の作製におけるその可能性のためにかなりの注目を集めている。このような応用において,焼結膜の電気伝導率と接着強度は望ましい微細構造を形成することにより最適化する必要がある。しかし,パルス間熱蓄積,特に微細構造形成の影響を受けない超短レーザパルスによる焼結の物理的機構はまだ明らかにされていない。また,種々の焼結膜の微細構造とそれらの特性の間の関係はほとんど知られていない。本研究では,焼結膜の微細構造と特性(電気伝導率と接着強度)を,銀ナノ粒子のTi:サファイアフェムト秒レーザ焼結のためのプロセス条件を変えることによって解析した。焼結は低レーザフルエンスでは主に表面くびれにより生じ,高レーザフルエンスでは粒子の融解により生じた。レーザフルエンスをさらに増加させると,融解プールの毛細管不安定性により,バリング現象が生じた。これらの焼結現象は典型的な熱焼結で観察されたものと大きく類似していた。電気伝導率と接着強さの両方は,粒子の融解がボール化現象を誘発する前に始まったとき,最大値に達するためにレーザフルエンスと共に増加した。本研究で得られた最大電気抵抗率~8.7μΩcmは他の熱焼結プロセスで得られたものと類似していた。Copyright Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： サファイア ,  最適化 ,  電気抵抗率 ,  *レーザ ,  チタン ,  *銀 ,  金属薄膜 ,  *レーザ焼結 ,  接着強さ ,  結膜 ,  *ナノ粒子 ,  レーザパルス ,  *導電性 ,  *焼結 ,  電気伝導率

著者キーワード (6件)： フェムト秒 ,  レーザ ,  ナノ粒子 ,  銀 ,  焼結 ,  薄膜

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 導電性薄膜 ,  作製 ,  銀ナノ粒子 ,  フェムト秒レーザ ,  焼結