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J-GLOBAL ID：202002274518387714   整理番号：20A2057657

静電駆動初期湾曲結合マイクロビームにおける双安定性と同時モード動作【JST・京大機械翻訳】

Bistability and simultaneous mode actuation in electrostatically actuated initially curved coupled micro beams

著者 (2件)： Medina Lior (Nanoscience Centre, Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge, CB3 0FF, United Kingdom) ,  Seshia Ashwin A. (Nanoscience Centre, Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge, CB3 0FF, United Kingdom)
資料名： International Journal of Non-Linear Mechanics  (International Journal of Non-Linear Mechanics)
巻： 126  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0727A  ISSN： 0020-7462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2つのビームから成る双安定構造の対称スナップスルー応答を,それらの中間点における剛体トラスによって結合して,分散静電負荷を受けるとき,研究した。両ビームは二重固定され,最初に湾曲した。解析は,Galerkinの分解から生じる縮小次数(RO)モデルに基づいている。ベース関数に対して,対称座屈モードを,いずれの梁にも使用した。ROモデルの結果を,有限差分(FD)解によって得た結果と比較し,元の微分定式化と有限要素(FE)モデルに対する近似を検証した。特に,FE解析を”機械的”変位独立荷重下の参照として使用し,静電,変位依存性,負荷の下でのモデルの検証のためにFDにより抽出された解の使用を容易にした。すべての解は,交換平衡経路を収容するためにアーク長「Riks」法の使用を採用した。より広いアプローチを可能にするために,2つのビームは異なる初期標高を持つ。研究は,少なくとも3自由度(DOF)のモデルが,どちらの負荷に対しても平衡経路を表すのに必要であることを示した。信頼できる定量的平衡曲線に対して,最小5DOFのモデルが必要であることが分かった。また,提示した結果は,二重湾曲ビーム構造が同時にいくつかのモードの作動を達成することができ,一方,妥当な電圧でスナップスルーを実証することを示した。そうして,このモデルは,そのような構成が様々な応用における使用に実現可能であることを示唆する。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 梁 ,  剛体 ,  対称性 ,  電圧 ,  トラス ,  微分 ,  *双安定性 ,  自由度 ,  定式化 ,  MEMS
準シソーラス用語： 有限要素解析 ,  座屈モード ,  有限要素 ,  *マイクロビーム ,  静電駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： スナップスルー ,  静電負荷 ,  高座屈モード ,  Ricks法 ,  MEMS/NEMS

分類 (2件)： 梁,桁  (HD03020H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 静電駆動 ,  初期 ,  湾曲 ,  マイクロビーム ,  双安定性