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J-GLOBAL ID：202002275090732436   整理番号：20A0117218

誘電体表面の微細凹凸欠陥の識別用ホログラムの設計

Design of computer-generated hologram for discrimination of concave and convex fine defects on dielectric surface

著者 (3件)： 杉坂純一郎 (北見工大) ,  安井崇 (北見工大) ,  平山浩一 (北見工大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 119  号： 272(EMT2019 42-73)  ページ： 39-44  発行年： 2019年10月31日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 物体表面の凹凸は,光を照射し,反射光の位相情報から非破壊的に計測できる.しかし,表面の傷や塵埃など,光の波長より小さな凹凸の場合は,凹凸形状と散乱波の関係が複雑になり,正しく計測できない.本研究では,誘電体平面上の微細な凹型,凸型欠陥を識別するための計算機合成ホログラムを設計する.複雑な干渉計や精密な機械的スキャンは必要なく,試料からの散乱波をこのホログラムに通し,現れるスポット像の強度値から容易に識別できることを示す.(著者抄録)

シソーラス用語： *誘電体 ,  粗面 ,  *計算機ホログラム ,  認識 ,  故障 ,  光散乱 ,  *光学的測定
準シソーラス用語： 凹凸表面 ,  計算機生成ホログラム ,  故障識別 ,  光計測

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  ホログラフィー一般  (BD03071V)

引用文献 (18件)：

• R. A. Sprague and C. L. Koliopolus, “Time integrating acoustooptic correlator,” Appl. Opt., vol. 15, no. 1, pp. 89-92, Jan. 1976.
• R. A. Sprague, “A Review of Acousto-Optic Signal Correlators,” Opt. Eng., vol. 16, no. 5, pp. 165467, Oct. 1977.
• C. S. Weaver and J. W. Goodman, “A technique for optically convolving two functions,” Appl. Opt., vol. 5, no. 7, pp. 1248-1249, Jul. 1966.
• B. Javidi, “Nonlinear joint power spectrum based optical correlation,” Appl. Opt., vol. 28, no. 12 pp. 2358-2367, Jun. 1989.
• A. B. VanderLugt, “Signal detection by complex spatial filtering,” IEEE Trans. Inf. Theory, vol. IT-10, no. 2, pp. 139-145, Apr. 1964.

タイトルに関連する用語 (6件)： 誘電体 ,  微細凹凸 ,  欠陥 ,  識別 ,  ホログラム ,  設計