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J-GLOBAL ID：202002275659398650   整理番号：20A0013273

LiNbO_3のレーザ切断に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Investigations on the laser cutting of LiNbO₃

著者 (7件)： Gao Wenyan (Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100094, China) ,  Lei Mingwei (Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100094, China) ,  Li Benhai (Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100094, China) ,  Li Guang (Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100094, China) ,  Li Kai (Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100094, China) ,  Feng Qiaoling (Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100094, China) ,  Wang Junlong (Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100094, China)
資料名： Optik  (Optik)
巻： 201  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0251A  ISSN： 0030-4026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,脆性材料に属し,機械加工が困難なLiNbO_3の精密切削技術を研究した。フェムト秒レーザを用いて,試料の切断品質,表面および断面形態に及ぼす波長の影響を調べ,光学顕微鏡および白色光干渉計により,スリット幅および切断チップのサイズ,粗さを測定した。次に,2つの最適化処理解法を設計して,高品質で高い再現性を有するLiNbO_3を切断して,熱効果とチップ化を明らかに減少した。最後に,LiNbO_3の板を通る完全切断を達成した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 再現性 ,  最適化 ,  光学顕微鏡 ,  機械工作 ,  チップ化 ,  フェムト秒レーザ ,  波長 ,  熱影響 ,  *レーザ切断 ,  脆性材料
準シソーラス用語： 高品質 ,  光干渉計 ,  精密切削 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： レーザ切断 ,  フェムト秒レーザ ,  熱影響 ,  LiNbO_3

分類 (2件)： 可視光によるホログラフィー  (BD03072M) ,  酸化物の結晶成長  (BK13050I)

タイトルに関連する用語 (2件)： レーザ切断 ,  研究