ダイヤモンド状炭素膜構造と膜硬度に及ぼす非晶質炭化ケイ素中間層の影響【JST・京大機械翻訳】

Kimura Yutaroh; Zhu Xia; Toyota Hiromichi; Shiraishi Ryoya; Iwamoto Yukiharu; Nomura Shinfuku

文献

J-GLOBAL ID：202002275799189031 整理番号：20A0633422

ダイヤモンド状炭素膜構造と膜硬度に及ぼす非晶質炭化ケイ素中間層の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Amorphous Silicon Carbide Interlayer on Diamond-Like Carbon Film Structure and Film Hardness

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資料名：
巻： 825 ページ： 99-105 発行年： 2019年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：スイス (CHE) 言語：英語 (EN)

本研究は,a-SiC中間層を有するダイヤモンド状炭素(DLC,a-C:H)層膜の接着性を改善するために行った。以前の研究で,a-SiC/DLC層膜を形成し,a-SiC層の厚さに起因するDLC膜構造と硬度の変化を調べた。a-SiC中間層の厚さが増加し,Gピーク位置がより低い周波数にシフトすると,ピークはより高い周波数にシフトした。Gピーク位置は約0.3μmの膜厚で最小周波数に達した。対照的に,a-SiC中間層の厚さが増加すると,Gピーク位置のFWHMはほぼ単調に増加し,sp3結合の数も増加した。層間厚さが増加すると,DLC膜中の水素含有量は増加し,次に減少し始め,層間膜厚は約0.3μmで局所最大値を示した。DLC膜硬度に関しては,水素含有量とGピーク位置の半幅の間に相関が観察された。水素含有量が≦40at%のとき,FWHM(G)と正の相関が観察され,水素含有量が40at%以上では,FWHM(G)と負の相関が見られた。DLC膜と基板の接着性は,中間層としてa-SiC薄膜を形成することにより改善された。DLC膜の品質に及ぼすa-SiC薄膜の影響を決定した。Copyright 2020 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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炭素とその化合物 , その他の無機化合物の薄膜

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