文献

J-GLOBAL ID：202002276556067111   整理番号：20A1691242

高周波マグネトロンスパッタリングにより蒸着したMgZnO膜の電気的および光学的性質に及ぼすアニーリングの効果【JST・京大機械翻訳】

Effect of Annealing on the Electrical and Optical Properties of MgZnO Films Deposited by Radio Frequency Magnetron Sputtering

著者 (10件)： Kushimoto Maki (Graduate School of Engineering, Nagoya University, Furo cho, Chikusa-ku, Nagoya, Aichi, 464-8603, Japan) ,  Sakai Tadayoshi (Graduate School of Engineering, Nagoya University, Furo cho, Chikusa-ku, Nagoya, Aichi, 464-8603, Japan) ,  Ueoka Yoshihiro (Advanced Technology Research Laboratories, Idemitsu Kosan Co., Ltd., Sodegaura, Chiba, 299-0293, Japan) ,  Tomai Shigekazu (Advanced Technology Research Laboratories, Idemitsu Kosan Co., Ltd., Sodegaura, Chiba, 299-0293, Japan) ,  Katsumata Satoshi (Advanced Technology Research Laboratories, Idemitsu Kosan Co., Ltd., Sodegaura, Chiba, 299-0293, Japan) ,  Deki Manato (Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University, Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Honda Yoshio (Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University, Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Honda Yoshio (Institute of Advanced Research, Nagoya University, Nagoya, 464-8603, Japan) ,  Amano Hiroshi (Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University, Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Amano Hiroshi (Akasaki Research Center, Nagoya University, Nagoya, 464-8603, Japan)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 217  号： 14  ページ： e1900955  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スパッタリングにより堆積したMgZnOの電気伝導率を熱処理により改善できるので,熱処理により誘起された相分離MgZnOの性質を調べた。吸収端は赤方偏移を示したが,紫外線(UV)-C領域の透過率は熱処理後に増加した。これは,高いZn含有量を有するウルツ鉱型(WZ)MgZnOの形成および相分離により誘起された低いZn含有量を有する岩塩(RS)構造に起因する。これは,電流経路が低抵抗のWZ結晶によって形成され,UV領域の透過率は高透過率のRS結晶によって増加することを示唆する。RS構造は面内方向にWZ結晶と部分的に混合されることを確認した。対照的に,結晶の異なる分布が積層方向で観察された。WZ構造はRS-MgZnOが基板界面に形成される後に形成される。Mgは熱処理によってRS構造に取り込まれ,MgリッチMgZnOが形成されることが分かった。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 界面 ,  *光学的性質 ,  紫外線 ,  *焼なまし ,  赤方偏移 ,  電気伝導率 ,  熱処理 ,  *亜鉛 ,  *マグネシウム ,  相分離 ,  透過率 ,  吸収端
準シソーラス用語： ウルツ鉱 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 発光ダイオード ,  透明導電性酸化物 ,  透明電極 ,  紫外線 ,  (ZnMg)O

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  光学的性質 ,  アニーリング