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J-GLOBAL ID：202002276768710470   整理番号：20A0205625

バーストモードにおける超短パルスによるCoCrMo合金のレーザ微細加工中の熱蓄積の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of heat accumulation during laser micromachining of CoCrMo alloy with ultrashort pulses in burst mode

著者 (3件)： Metzner Daniel (Laserinstitut Hochschule Mittweida, Mittweida, Germany) ,  Lickschat Peter (Laserinstitut Hochschule Mittweida, Mittweida, Germany) ,  Weissmantel Steffen (Laserinstitut Hochschule Mittweida, Mittweida, Germany)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 126  号： 2  ページ： 1-11  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,高周波ピコ秒レーザパルスを用いたコバルトクロム合金(CoCrMo)の材料除去の実験的および理論的結果を提示した。バースト中のパルスのフルエンスと数に依存して,バースト中のパルス当たりのアブレーション体積,構造深さ,表面粗さを決定できる構造を作った。バースト中の単一パルスは通常のパルスレーザ放射を表す。パルスの数に依存して,パルス当たりのアブレーション体積と構造の達成された深さは,それぞれバーストにおいて上昇した。さらに,機械加工表面に及ぼす平滑化効果を,選択したパラメータに依存して明らかにした。エネルギー分散X線分析は,化学量論がバーストモードでの材料処理後も同じままであることを示した。蓄積した残留熱だけでなく材料除去をシミュレートすることができるように,閾値フルエンス,有効浸透深さおよび潜伏因子などの必要パラメータを実験的に決定した。シミュレーションはレーザ誘起熱蓄積が材料除去に寄与し,バーストモードの使用により平滑化効果を確立することを実証した。Copyright 2020 Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アブレーション ,  化学量論 ,  エネルギー散逸 ,  *バースト ,  蓄熱 ,  X線分析 ,  *レーザ ,  機械工作 ,  表面粗さ ,  *パルス ,  余熱 ,  パルスレーザ ,  フルエンス ,  *微細加工 ,  HF【周波数】

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： バーストモード ,  超短パルス ,  レーザ ,  微細加工 ,  熱蓄積