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J-GLOBAL ID：202002276785504474   整理番号：20A0419799

感光性複合材料を用いた磁気駆動マイクロポンプにおけるアクティブ膜のための自己整列作製プロセス【JST・京大機械翻訳】

Self-aligned fabrication process for active membrane in magnetically driven micropump using photosensitive composite

著者 (5件)： Nakahara Tasuku (Department of Mechanical Engineering, Yamaguchi University, Yamaguchi, Japan) ,  Ueda Yusaku (Department of Intelligent Mechanical Systems Engineering, Kagawa University, Kagawa, Japan) ,  Miyagawa Hayato (Department of Advanced Materials Science, Kagawa University, Kagawa, Japan) ,  Kotera Hidetoshi (RIKEN, Saitama, Japan) ,  Suzuki Takaaki (Division of Mechanical Science and Technology, Gunma University, Gunma, Japan)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 30  号： 2  ページ： 025006 (12pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,感光性複合材料を用いたマイクロポンプの製造に利用される活性膜のための簡単な製造プロセスを提案した。複合材料は負フォトレジスト(SU-8)と磁性粒子の混合物から開発した。Fe_3O_4,Ni,またはFeから成る複合材料の磁化と引力を評価した。著者らの実験では,Fe(50wt%)で作られた複合材料は,磁化と引力に対して最大値を示し,それは,それぞれ,300kA/m m-1と2.7mNであった。複合材料(Fe:50wt%)の加工性は約25μmの飽和露光厚さを示し,それは露光過程における紫外線の低透過率によって引き起こされた。著者らは,複合材料の上記の加工性を用いて,一段階自己整合フォトリソグラフィープロセスにおいて,活性膜と中空構造の両方の製造を含む簡単なプロセスを用いて,マイクロポンプを作製した。作製した素子は,膜の変位が10kA/m~-1から90kA/m m-1への印加磁場の増加と共に増加することを示した。最大変位は,90kA/m m-1の印加磁場において,5Hzで4.2μmであった。マイクロポンプの流量を粒子追跡法により評価し,その結果は90kA/m m-1において5Hzにおいて36.1nl min-1であった。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 複合材料 ,  *マイクロポンプ ,  *自己整合 ,  紫外線 ,  生産工程 ,  加工性 ,  磁化 ,  流量 ,  露光 ,  フォトレジスト ,  鉄
準シソーラス用語： 印加磁場 ,  磁性粒子 ,  *磁気駆動 ,  *光感受性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ポンプ,各種揚水装置  (QD05030P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 感光性 ,  複合材料 ,  磁気駆動 ,  マイクロポンプ ,  自己整列 ,  作製 ,  プロセス