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J-GLOBAL ID：202002276808096808   整理番号：20A2238612

強く集光した径偏光ビームによるレーザー微細加工の材料依存性

Material Dependence of Laser Microfabrication by Using Tightly Focused Radially Polarized Beams

著者 (3件)： 佐藤柾 (東北大 多元物質科研) ,  小澤祐市 (東北大 多元物質科研) ,  佐藤俊一 (東北大 多元物質科研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.14a-PB4-12  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： はじめに:レーザー光断面において放射状の偏光分布を持つ径偏光ビームは,開口数が大きな対物レンズで強く集光されると,軸方向電場が焦点に強く発生する性質を持つ.この時の集光スポットは軸方向電場が支配的となり,同条件で直線・円偏光を集光する場合に...【本文一部表示】

シソーラス用語： 液晶 ,  ガラス ,  電場 ,  *偏光 ,  アルミニウム ,  チタン ,  銅 ,  波長 ,  レーザビーム ,  パルス幅 ,  *微細加工 ,  アブレーション ,  *集光 ,  対物レンズ ,  フェムト秒レーザ

分類 (5件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  レーザ一般  (BD04030T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 集光 ,  径偏光ビーム ,  レーザー ,  微細加工 ,  材料依存性