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J-GLOBAL ID：202002277259064373   整理番号：20A1704229

高モードにおける圧電カンチレバー湿度センサの減少した相対感度を説明する等価質量の修正係数【JST・京大機械翻訳】

Modified Coefficient of Equivalent Mass to Explain Decreased Relative Sensitivity of Piezoelectric Cantilever Humidity Sensor in High Mode

著者 (6件)： Pang Jintao (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou, China) ,  Le Xianhao (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou, China) ,  Pang Kai (Department of Polymer Science and Engineering, MOE Key Laboratory of Macromolecular Synthesis and Functionalization, Zhejiang University, Hangzhou, China) ,  Xu Zhen (Department of Polymer Science and Engineering, MOE Key Laboratory of Macromolecular Synthesis and Functionalization, Zhejiang University, Hangzhou, China) ,  Gao Chao (Department of Polymer Science and Engineering, MOE Key Laboratory of Macromolecular Synthesis and Functionalization, Zhejiang University, Hangzhou, China) ,  Xie Jin (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou, China)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 29  号： 4  ページ： 452-454  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電カンチレバーは,高感度と高速応答のため,ガス検知とバイオセンシングのための広い展望を約束する。共振周波数と感度間の強い相関は,高次曲げモードを用いた多数のカンチレバーベースセンサをもたらし,より高い絶対感度を実現した。しかし,実験結果は,センサの相対的感度がモード次数の増加とともに減少することを示した。ここでは,等価質量の修正係数を有する通常のカンチレバーの相対的感度劣化を説明し,相対感度を高めるために,インターデジタル電極(IDEs)により駆動される高周波モードを用いたカンチレバーベース湿度センサを提案した。垂直配置(70.4MHz)によって励起された高次モードと比較して,IDEs(77.3MHz)によって駆動される高周波モードは,10%のλ>90%相対湿度で39.2Hz.cm2/ng(1.68x)の改善された感度を示した。IDEsによる感度増強は,修正係数によって計算した結果と一致する。[2020-0055]Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 相対湿度 ,  *片持梁 ,  増感 ,  HF【周波数】 ,  センサ ,  高感度 ,  湿度センサ ,  共振周波数 ,  バイオセンサ
準シソーラス用語： 高速応答 ,  高次モード ,  曲げモード ,  圧電カンチレバー ,  ガス検知 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 圧電カンチレバー ,  湿度センサ ,  説明 ,  質量 ,  係数