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J-GLOBAL ID：202002277481260552   整理番号：20A0492802

高屈曲性平面Hall抵抗センサ【JST・京大機械翻訳】

Highly Bendable Planar Hall Resistance Sensor

著者 (8件)： Kim Mijin (Department of Emerging Materials Science and Center for Bio-Convergence Spin System, Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology, Daegu, South Korea) ,  Oh Sunjong (Department of Nature-Inspired Nanoconvergence Systems, Korea Institute of Machinery and Materials, Daejeon, South Korea) ,  Jeong Wooseong (Department of Emerging Materials Science and Center for Bio-Convergence Spin System, Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology, Daegu, South Korea) ,  Talantsev Artem (Department of Emerging Materials Science and Center for Bio-Convergence Spin System, Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology, Daegu, South Korea) ,  Jeon Taehyeong (Department of Emerging Materials Science and Center for Bio-Convergence Spin System, Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology, Daegu, South Korea) ,  Chaturvedi Richa (Department of Emerging Materials Science and Center for Bio-Convergence Spin System, Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology, Daegu, South Korea) ,  Lee Sungwon (Department of Emerging Materials Science and Center for Bio-Convergence Spin System, Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology, Daegu, South Korea) ,  Kim Cheolgi (Department of Emerging Materials Science and Center for Bio-Convergence Spin System, Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology, Daegu, South Korea)
資料名： IEEE Magnetics Letters  (IEEE Magnetics Letters)
巻： 11  ページ： ROMBUNNO.4100705.1-5  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2299A  ISSN： 1949-307X  CODEN： IMLEA3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 平面Hall抵抗(PHR)センサのセットを剛性で柔軟な基板上に作製した。ポリジメチルシロキサン(PDMS)とパリレンC高分子基板上に成長させたTa(5nm)/NiFe(10nm)/IrMn(10nm)/Ta(5nm)薄膜に基づいて,信号の高い信号対雑音比,低オフセット電圧,ほぼゼロヒステリシスおよび優れた線形性を実証した。PHRセンサの性能に及ぼす曲げの影響を研究した。作製したPHRセンサの性能特性に及ぼす曲げ変形の影響は,曲げ角度が重要なものに達するまで可逆的である。臨界曲げ角度は基板組成に依存することを示した。曲げ角度が臨界値を超えると,しわと亀裂の形成を伴うセンサ膜の不可逆変形が起こる。この変形は基板と膜のYoung率の値の差に起因する。PDMS基板上に成長させたPHRセンサの曲げ安定性は,バッファとしてのパリレンCの1μmの堆積とキャッピング層として改善された。設計した曲げ可能なPHRセンサの性能特性は,ウェアラブルエレクトロニクスおよび医用診断装置における応用に対する要求と互換性がある。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： センサ ,  SN比 ,  *診断用機器 ,  線形性 ,  臨界 ,  臨界定数 ,  亀裂 ,  Young率 ,  不可逆性 ,  曲げ変形 ,  電子技術 ,  剛性 ,  互換性 ,  薄膜 ,  ヒステリシス

分類 (2件)： 強磁性共鳴,反強磁性共鳴,フェリ磁性共鳴  (BM07030P) ,  磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (2件)： 屈曲性 ,  Hall抵抗