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J-GLOBAL ID：202002277859701388   整理番号：20A1114184

マグネトロンスパッタリングにより蒸着した温度による酸化バナジウム膜の構造と光学的性質の進展【JST・京大機械翻訳】

Evolution of structures and optical properties of vanadium oxides film with temperature deposited by magnetron sputtering

著者 (13件)： Yang Zhenhuai (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Yang Lei (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Yang Lei (Center of Analysis Measurement, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Dai Bing (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Xia Fei (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Wang Peng (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Guo Shuai (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Gao Gang (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Xu Liangge (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Sun Chunqiang (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Zhang Yumin (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Zhu Jiaqi (National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, PR China) ,  Zhu Jiaqi (Key Laboratory of Micro-systems and Micro-structures Manufacturing, Ministry of Education, Harbin 150080, PR China)
資料名： Infrared Physics & Technology  (Infrared Physics & Technology)
巻： 107  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0184A  ISSN： 1350-4495  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,温度によるVO_x膜の中赤外光学変調特性を研究した。VO_2とV_2O_5を含むVO_x膜を,無線周波数マグネトロンスパッタリングによりAl_2O_3基板上に蒸着した。中間赤外透過率は,温度を590°Cに上げると,VO_2の相転移として68°C付近で最初の可逆的還元と350°C付近で徐々に減少し,酸化状態はV_2O_5からVO_2へ変化したため,2つの減少を示した。温度を約54°Cに冷却すると透過率は5.49%から70.29%に増加した。この膜は,第二の熱サイクル中に60°C付近で可逆的64%の光変調を有し,550°Cより高い温度でも安定に保たれた。表面形態構造と化学組成における高温熱サイクルによって引き起こされた差異を,AFM,XRD,Raman,およびXPSによって特性評価した。相転移の過程と熱サイクル中に変化した酸化状態を温度依存Ramanスペクトルでモニターした。本研究は,VO_x膜の異なる構造と酸化状態の間の遷移に関する新しい情報,および赤外サーモクロミック窓のための良い候補を提供する。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Ramanスペクトル ,  化学組成 ,  高温 ,  *光学的性質 ,  赤外線 ,  相転移 ,  光変調 ,  熱サイクル ,  *酸化バナジウム ,  温度依存性 ,  透過率 ,  マグネトロンスパッタリング
準シソーラス用語： 酸化状態 ,  表面形態 ,  無線周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： VOXフィルム ,  中赤外透過率 ,  温度依存Raman ,  マグネトロンスパッタリング

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  酸化バナジウム ,  光学的性質 ,  進展