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J-GLOBAL ID：202002278384369002   整理番号：20A1406213

ナノインプリントの最新状況 メカノリソグラフィ法〈圧力を情報媒体とする新しい微細加工技術の提案〉

著者 (1件)： 玉置信之 (北大)
資料名： プラスチックス  (Japan Plastics)
巻： 71  号： 7  ページ： 42-46  発行年： 2020年07月10日 
JST資料番号： F0254A  ISSN： 0555-7887  CODEN： PRSKAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光の代わりに圧力を情報媒体として用いる新しい微細加工技術,「メカノリソグラフィ」法を提案する。ナノインプリントとは異なり,材料は鋳型による変形ではなく,圧力そのものを感じて重合性が変化する。鋳型の剥離時に生じる欠陥などの問題点を解決できる可能性がある。(著者抄録)

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  圧力 ,  *微細加工 ,  重合度 ,  *パターン転写 ,  押付成形 ,  光重合 ,  剥離 ,  紫外線照射 ,  型

分類 (1件)： その他の成形  (YH04090Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノインプリント ,  状況 ,  情報媒体 ,  微細加工技術 ,  提案