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J-GLOBAL ID：202002278590262763   整理番号：20A2763590

ホルマリン処理魚中の低濃度ホルムアルデヒドガスの検出のためのマイクロセンサの作製【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of Microsensor for Detection of Low-Concentration Formaldehyde Gas in Formalin-Treated Fish

著者 (4件)： Das Surajit (Department of Electrical Engineering, IIT Jodhpur, Jodhpur, India) ,  Kumar Rahul (Department of Electrical Engineering, IIT Jodhpur, Jodhpur, India) ,  Singh Jitendra (CSIR-Central Electronics Engineering Research Institute, Pilani, India) ,  Kumar Mahesh (Department of Electrical Engineering, IIT Jodhpur, Jodhpur, India)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 67  号： 12  ページ： 5710-5716  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,低コストマイクロセンサを作製するための超高速直接レーザパターニング技術とそのホルムアルデヒド検出への応用について報告する。マイクロヒータと交差指電極(IDE)のパターンを,アルミナ基板上の金薄膜のアブレーションによるレーザマイクロマシニング技術を用いて実現した。金マイクロヒータの薄膜は300°Cまで良好な安定性を示し,80sの速い応答時間と抵抗の温度係数(TCR)は1.37×10{-{3}°Cと計算された。さらに,金マイクロヒータは自己加熱モードの下で長期信頼性を示し,低電力を0.23°C/mWの加熱効率で消費することを通して,250°Cで330hの期間にわたって,無視できる抵抗ドリフト<0.5%を示した。熱画像カメラは,マイクロセンサプラットフォーム全体にわたって無視できる温度勾配プロファイルを持つ均一な温度分布を明らかにした。この共平面センシングプラットフォームの最先端のガスセンシング応用のため,ナノ構造SnO_2をIDE上に堆積し,それは,高速応答(32s)と回復速度(72s)でサブppm濃度を検出するのに,ホルムアルデヒドに対して高感度(13.96%ppm{-1{1})を示した。さらに,マイクロセンサもホルマリン処理魚試料中のホルムアルデヒド濃度の検出と定量のためのオンサイト迅速スクリーニングを用いた。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 温度分布 ,  カメラ ,  薄膜 ,  *金 ,  ドリフト ,  温度勾配 ,  アブレーション ,  スクリーニング ,  ナノ構造 ,  脂肪族アルデヒド
準シソーラス用語： *マイクロセンサ ,  自己加熱 ,  高速応答 ,  マイクロヒータ ,  金膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 撮像・録画装置  (ND12032E) ,  電子管,放電管  (NC02020D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： ホルムアルデヒド

タイトルに関連する用語 (5件)： ホルマリン ,  低濃度 ,  ホルムアルデヒド ,  マイクロセンサ ,  作製