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J-GLOBAL ID：202002278694022281   整理番号：20A1884321

ダイヤモンド垂直型Schottky障壁ダイオードにおけるキラー欠陥の抑制

Suppression of killer defects in diamond vertical-type Schottky barrier diodes

著者 (6件)： Kobayashi Atsushi (Diamond Materials Team, Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan) ,  Kobayashi Atsushi (Department of Chemical Engineering, Osaka Prefecture University, 1-1 Gakuen-cho, Naka-ku, Sakai, Osaka 599-8531, Japan) ,  Ohmagari Shinya (Diamond Materials Team, Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan) ,  Umezawa Hitoshi (Diamond Materials Team, Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan) ,  Takeuchi Daisuke (Diamond Materials Team, Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan) ,  Saito Takeyasu (Department of Chemical Engineering, Osaka Prefecture University, 1-1 Gakuen-cho, Naka-ku, Sakai, Osaka 599-8531, Japan)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 59  号： SG  ページ： SGGD10 (4pp)  発行年： 2020年04月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンドSchottky障壁ダイオード(VSBD)における垂直構造は,高電流動作を実現するのに適している。しかし,性能に影響する主な障害は,高濃度Bドープp+基板から生ずると考えられるキラー欠陥の存在である。ここでは,金属支援終端と呼ばれるp+基板からエピタキシャル層への拡張欠陥を抑制するためのバッファ層を導入した。カソードルミネセンススペクトルにおけるバンド-Aルミネセンスの顕著な低下が確認され,結晶度の大きな改善を示した。VSBDは,漏れ電流が抑制された高度に均一な整流作用を示した。バッファ層を挿入すると電場強度は1.9から5.0MVcm^-1に増加した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *Schottky障壁ダイオード ,  *ダイヤモンド ,  *格子欠陥 ,  層 ,  陰極線ルミネセンス ,  結晶度 ,  バッファ層 ,  漏れ電流 ,  電流電圧特性 ,  ドーピング ,  ホウ素 ,  エピタキシャル層 ,  拡張欠陥 ,  *鉱石 ,  *宝石
準シソーラス用語： カソードルミネセンス

分類 (1件)： ダイオード  (NC03050R)

タイトルに関連する用語 (4件)： ダイヤモンド ,  垂直型 ,  Schottky障壁ダイオード ,  欠陥