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J-GLOBAL ID：202002278695210254   整理番号：20A0680267

グラファイトを炭素源としたCVDダイヤモンド粒子への酸素プラズマの影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Oxygen Plasma on CVD Diamond Particles Synthesized with Graphite as Carbon Source

著者 (8件)： Yao Kaili (哈爾浜工業大学航天学院,哈爾浜,150001) ,  Dai Bing (哈爾浜工業大学航天学院,哈爾浜,150001) ,  Tan Xiaojun (哈爾浜工業大学航天学院,哈爾浜,150001) ,  Yang Lei (哈爾浜工業大学航天学院,哈爾浜,150001) ,  Liu Kang (哈爾浜工業大学航天学院,哈爾浜,150001) ,  Shu Guoyang (哈爾浜工業大学航天学院,哈爾浜,150001) ,  Han Jiecai (哈爾浜工業大学航天学院,哈爾浜,150001) ,  Zhu Jiaqi (哈爾浜工業大学航天学院,哈爾浜,150001)
資料名： Rengong Jingti Xuebao  (Rengong Jingti Xuebao)
巻： 48  号： 9  ページ： 1621-1625  発行年： 2019年 
JST資料番号： W0398A  ISSN： 1000-985X  CODEN： RJXUEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 新しいダイヤモンド粒子の調製法を利用し、マイクロ波支援化学蒸着技術を利用し、反応室内に水素を通し、固体グラファイトシートを炭素源と基板としてダイヤモンド粒子を同時に堆積させた。この方法で合成したダイヤモンド粒子はミクロンサイズのサイズを持ち、研磨剤、核形成剤などに応用できる。しかし、合成したダイヤモンド粒子には少量のアモルファス炭素が含まれ、合成粒子の寸法均一性は向上する必要がある。上記の問題を解決するため、本文では、反応の異なる段階(初期、中期及び末期)に酸素を通って、酸素プラズマを形成し、酸素プラズマが合成したダイヤモンド粒子の形態、サイズ、品質、純度への影響、及び酸素プラズマ添加段階の違いによる異なる変化状況を研究した。結果は,酸素プラズマ処理によるダイヤモンド粒子の形態がわずかに変化し,表面平滑度が良好で,ダイヤモンド粒径の一致が向上し,レーザ粒度測定で,ダイヤモンド粒子の大きさが2529μmに集中したことを示した。酸素プラズマの添加がダイヤモンド中の非晶質炭素の除去に役立ち,ダイヤモンドの純度が向上し,反応の初期に酸素プラズマが添加されるとダイヤモンド粒子の品質が最大になる。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 水素 ,  レーザ ,  研磨剤 ,  *酸素 ,  *ダイヤモンド ,  化学蒸着 ,  マイクロ波 ,  純度 ,  粒度分析 ,  *グラファイト ,  核形成 ,  粒径 ,  品質
準シソーラス用語： *酸素プラズマ ,  *炭素源 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： グラファイト ,  炭素源 ,  CVD ,  ダイヤモンド粒子 ,  酸素プラズマ