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J-GLOBAL ID：202002279330496359   整理番号：20A0569790

形状記憶合金ベースの制御可能なマルチポートマイクロバルブ【JST・京大機械翻訳】

Shape memory alloy based controllable multi-port microvalve

著者 (11件)： Megnin Christof (memetis GmbH, Karlsruhe, Germany) ,  Megnin Christof (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Institute of Microstructure Technology (IMT), Karlsruhe, Germany) ,  Moradi Bahman (memetis GmbH, Karlsruhe, Germany) ,  Moradi Bahman (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Institute of Microstructure Technology (IMT), Karlsruhe, Germany) ,  Zuern Jannik (memetis GmbH, Karlsruhe, Germany) ,  Zuern Jannik (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Institute of Microstructure Technology (IMT), Karlsruhe, Germany) ,  Ossmer Hinnerk (memetis GmbH, Karlsruhe, Germany) ,  Ossmer Hinnerk (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Institute of Microstructure Technology (IMT), Karlsruhe, Germany) ,  Gueltig Marcel (memetis GmbH, Karlsruhe, Germany) ,  Gueltig Marcel (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Institute of Microstructure Technology (IMT), Karlsruhe, Germany) ,  Kohl Manfred (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Institute of Microstructure Technology (IMT), Karlsruhe, Germany)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 26  号： 3  ページ： 793-800  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,ガス状および液体媒体のスイッチングおよび投与のためのアクチュエータとして形状記憶合金(SMA)の薄い箔を有する革新的なミニチュア多ポート弁について述べた。通常閉じた(NC)マイクロバルブは,互いに独立にスイッチされる2つの構造化SMAアクチュエータと,2つの入力と1つの出力または1つの入力と2つの出力を持つ。3/4方向配置における媒体のスイッチングに加えて,それはまた,投与のための閉ループ制御における流れセンサと共に使用できる。さらに,弁設計は層に基づいており,個々の部品は与えられた要求に従って,あるいはバッチサイズに依存して異なる製造技術を使用することによって製造することができる。SMAマルチポートマイクロバルブは,200kPaの印加圧力差と約400mAの加熱電流に対して,約2300ml/min(窒素ガス)と約45ml/min(水)の流量を示した。流れ調整のために,閉ループ制御を実現し,100kPaの圧力差と900ml/minの設定値に対して評価した。Copyright Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature 2019 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 媒質 ,  フィードバック制御 ,  アクチュエータ ,  流量 ,  電流 ,  生産技術 ,  *形状記憶合金 ,  *ポート ,  ロット
準シソーラス用語： 目標値 ,  窒素ガス ,  圧力差 ,  *マイクロバルブ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (2件)： 形状記憶合金 ,  マイクロバルブ