文献

J-GLOBAL ID：202002279580947130   整理番号：20A0790272

WドープVO_2/アゾ二層複合膜の調製と光学的性質【JST・京大機械翻訳】

Preparation and optical properties of W-doped VO₂/AZO bilayer composite film

著者 (3件)： Dang Yuanyuan (School of Materials Science and Engineering, Tianjin Polytechnic University, Tianjin, 300387, China) ,  Zhao Leran (School of Materials Science and Engineering, Tianjin Polytechnic University, Tianjin, 300387, China) ,  Liu Juncheng (School of Materials Science and Engineering, Tianjin Polytechnic University, Tianjin, 300387, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 46  号： 7  ページ： 9079-9085  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： その可視光透過率を向上させるために,WドープVO_2薄膜を,高周波(RF)マグネトロンスパッタリングにより石英ガラス基板上に堆積したAlドープZnO(AZO)薄膜の表面上に直流(DC)反応性マグネトロンスパッタリングにより調製した。AZO膜のスパッタリングパワーの効果を,AZO薄膜とWドープVO_2/AZO二層複合膜の結晶構造,表面形態,および光学特性に関して研究した。結果は,AZO単分子層膜と二分子層膜の両方の結晶性が最初に増加し,次にスパッタリング出力の増加と共に減少することを示した。スパッタリングパワーが増加すると,膜厚は増加した。WドープVO_2/AZO二層膜の積分可視光透過率(T_lum)は連続的に減少し,太陽変調効率(ΔT_sol)は最初に増加し,次に減少した。スパッタリングパワーが150Wのとき,WドープVO_2/AZO二層膜のT_lumとΔT_ゾルは,WドープVO_2単層膜のそれらより,それぞれ30.14%と11.95%,2.77%と1.71%高かった。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 結晶構造 ,  *光学的性質 ,  太陽 ,  薄膜 ,  二分子層 ,  石英ガラス ,  HF【周波数】 ,  *ドーピング ,  結晶度 ,  直流 ,  薄膜成長 ,  *複合膜
準シソーラス用語： 単分子膜 ,  表面形態 ,  単層膜 ,  反応性マグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： サーモクロミック ,  VO_2薄膜 ,  アゾ薄膜 ,  Wドーピング ,  二層複合膜 ,  マグネトロンスパッタリング

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： ドープ ,  二層 ,  複合膜 ,  調製 ,  光学的性質