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J-GLOBAL ID：202002280132997476   整理番号：20A1246892

ALDにより成長させたZnO薄膜の分散パラメータ,誘電特性および光電気パラメータの研究【JST・京大機械翻訳】

Investigation of dispersion parameters, dielectric properties and opto-electrical parameters of ZnO thin film grown by ALD

著者 (7件)： Zaka Hanaa (Department of Solid State Physics, Faculty of Sciences and Technology, University of Debrecen, P.O. Box 400, H- 4002, Debrecen, Hungary) ,  Zaka Hanaa (Department of Physics, Faculty of Education, Ain Shams University, Cairo, 11566, Egypt) ,  Parditka B. (Department of Solid State Physics, Faculty of Sciences and Technology, University of Debrecen, P.O. Box 400, H- 4002, Debrecen, Hungary) ,  Erdelyi Z. (Department of Solid State Physics, Faculty of Sciences and Technology, University of Debrecen, P.O. Box 400, H- 4002, Debrecen, Hungary) ,  Atyia H.E. (Department of Physics, Faculty of Education, Ain Shams University, Cairo, 11566, Egypt) ,  Sharma Pankaj (Department of Physics & Materials Science, Jaypee University of Information Technology, Waknaghat, 173234, India) ,  Fouad S.S. (Department of Physics, Faculty of Education, Ain Shams University, Cairo, 11566, Egypt)
資料名： Optik  (Optik)
巻： 203  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0251A  ISSN： 0030-4026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の層厚を持つ高度に透明な酸化亜鉛薄膜を,200°Cで微視的ガラス基板上に作製した。膜厚は針形状計で測定した。X線回折を用いて膜の構造を調べた。パターンはそれらの非晶質性を示した。分散パラメータ,すなわち屈折率(n)と消光係数(k)を波長範囲(350~2500nm)で計算した。Taucモデルを用いて,直接許容遷移を持つ光学バンドギャップとUrbachテールを決定した。高周波誘電定数の実部と虚部を検討した。透過深さ,カットオフ波長,散逸因子,体積および表面エネルギー損失関数,反射損失係数,光学的,電気的および熱伝導率などの他のパラメータも決定した。ALD調製ZnO膜の広範囲の光学パラメータの系統的研究は,価値あるデータ源として役立つことができ,研究材料の知識を豊かにすることができる。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  屈折率 ,  熱伝導率 ,  *薄膜 ,  誘電率 ,  波長 ,  X線回折分析 ,  *誘電性 ,  *酸化亜鉛 ,  非晶質 ,  許容遷移 ,  層厚 ,  光学ギャップ
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  消光係数 ,  損失係数 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ZnO ,  ALD ,  薄膜 ,  光電気パラメータ ,  直接光学バンドギャップ

分類 (3件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  光通信方式・機器  (ND10000B) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (7件)： ALD ,  成長 ,  ZnO薄膜 ,  パラメータ ,  誘電特性 ,  光電気 ,  研究