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J-GLOBAL ID：202002280494609317   整理番号：20A0791130

可変電圧電子顕微鏡法:2D材料における原子-原子形成に向けて【JST・京大機械翻訳】

Variable voltage electron microscopy: Toward atom-by-atom fabrication in 2D materials

著者 (5件)： Dyck Ondrej (Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, TN, USA) ,  Jesse Stephen (Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, TN, USA) ,  Delby Niklas (Nion R&D, 11511 NE 118thSt., Kirkland, WA, USA) ,  Kalinin Sergei V. (Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, TN, USA) ,  Lupini Andrew R. (Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, TN, USA)
資料名： Ultramicroscopy  (Ultramicroscopy)
巻： 211  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0972A  ISSN： 0304-3991  CODEN： ULTRD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査透過型電子顕微鏡における正確に集束した電子ビーム(e-ビーム)は原子レベルでのパターン形成のための汎用ツールであり,原子毎の作製を可能にするが,ビーム誘起現象は電子ビームエネルギーに非常に敏感であり,knock オン閾値の近接性と密接に相関することが知られている。ここでは,電子顕微鏡レンズにおいてほぼ一定の温度を維持することにより,加速電圧の非常に速い変化を促進しながら,試料に伝達されたエネルギーを制御する方法を提供した。この方法を用いて,グラフェン膜のin situナノミリングを,より低いエネルギーでの「ゲントラー」イメージングにより急速に追跡した。さらに,グラフェン中のシリコンドーパントの挿入と制御された動きを,各プロセス中に異なる電子ビームエネルギーを用いて実証した。可変eビームエネルギーの組込みが原子スケールeビーム作製の可能性を広げると信じる。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *電圧 ,  *電子顕微鏡 ,  *電子顕微鏡観察 ,  電子ビーム ,  レンズ ,  ケイ素 ,  画像処理 ,  *二次元 ,  透過型走査電子顕微鏡 ,  ドーパント ,  パターン形成 ,  グラフェン
準シソーラス用語： 加速電圧 ,  原子スケール , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 電子ビーム加工 ,  グラフェンパターニング原子操作 ,  急速な交流電圧変化 ,  走査型透過電子顕微鏡

分類 (4件)： 電子・陽電子との相互作用一般  (BK16051U) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 可変 ,  電子顕微鏡法 ,  2D ,  原子