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J-GLOBAL ID：202002281648326964   整理番号：20A2532016

メガヘルツ範囲付近の水中の懸濁窒化けい素膜の周波数と減衰効果【JST・京大機械翻訳】

Frequency and damping effect of suspended silicon nitride membranes in water near the megahertz range

著者 (11件)： Wang Jiaying (Department of Nanoengineering, University of California, San Diego, La Jolla, CA 92093, United States of America) ,  Wang Jiaying (Center for Memory and Recording Research, University of California, San Diego, La Jolla, CA 92093, United States of America) ,  Wang Jiaying (Calibaja Center for Resilient Materials and Systems, University of California, San Diego, La Jolla, CA 92093, United States of America) ,  Mei Jiyang (Department of Mechanical Aerospace and Engineering, University of California, San Diego, 9500 Gilman Drive, La Jolla, CA 92093, United States of America) ,  Mei Jiyang (Materials Science and Engineering, University of California, San Diego, La Jolla, CA 92093, United States of America) ,  Friend James (Department of Mechanical Aerospace and Engineering, University of California, San Diego, 9500 Gilman Drive, La Jolla, CA 92093, United States of America) ,  Friend James (Materials Science and Engineering, University of California, San Diego, La Jolla, CA 92093, United States of America) ,  Friend James (Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices and Department of Surgery, School of Medicine, University of California, San Diego, La Jolla, CA 92093, United States of America) ,  Vazquez-Mena Oscar (Department of Nanoengineering, University of California, San Diego, La Jolla, CA 92093, United States of America) ,  Vazquez-Mena Oscar (Center for Memory and Recording Research, University of California, San Diego, La Jolla, CA 92093, United States of America) ,  Vazquez-Mena Oscar (Calibaja Center for Resilient Materials and Systems, University of California, San Diego, La Jolla, CA 92093, United States of America)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 30  号： 12  ページ： 125006 (8pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メガヘルツ範囲における水浸漬膜の挙動を理解することは,生物医学的超音波応用に適合する新しい音響メタマテリアルを開発するために重要である。ここでは,レーザドップラー振動計を用いて水に完全に浸漬した窒化ケイ素膜のメガヘルツ範囲の共振周波数と品質因子に対する水の影響を調べた。窒化ケイ素膜の共振周波数は,空気に比べて水中で著しく減少した。40μm幅の膜では,共振周波数は空気中で11.2MHzから水に浸漬後1.24MHzに減少し,これは有限要素法シミュレーションにより確認された。著者らの結果は,水質量負荷が共振周波数減少で主要な役割を果たし,水質量対膜質量比が102,NAVMI因子がΓ1.3であることを示した。粘性減衰からの小さな寄与による音響放射に対する主な損失を属性した。50μm以下の幅の窒化ケイ素膜が1MHz以上で作動する負のメタマテリアルを構築するために必要であると見積もる。大きなNAVMI因子は,水中における膜運動と音響波の間の強い結合を示唆し,音響場を操作できるメタマテリアルを開発するのに重要である。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 音場 ,  *懸濁液 ,  水質 ,  *窒化 ,  音波 ,  粘性減衰 ,  音波放射 ,  浸漬 ,  共振周波数
準シソーラス用語： 品質因子 ,  メタマテリアル ,  FEMシミュレーション ,  音響メタマテリアル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ヘルツ ,  水中 ,  懸濁 ,  窒化 ,  けい素膜 ,  減衰効果