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J-GLOBAL ID：202002281690531233   整理番号：20A2576046

コヒーレントX線イメージングと顕微鏡法のためのダイヤモンドマイクロCRL【JST・京大機械翻訳】

Diamond micro-CRL for Coherent x-ray imaging and microscopy

著者 (8件)： Medvedskaya P. (Immanuel Kant Baltic Federal University, 236041 Kaliningrad Russia) ,  Lyatun I. (Immanuel Kant Baltic Federal University, 236041 Kaliningrad Russia) ,  Shevyrtalov S. (Immanuel Kant Baltic Federal University, 236041 Kaliningrad Russia) ,  Korotkov A. (Immanuel Kant Baltic Federal University, 236041 Kaliningrad Russia) ,  Polikarpov M. (European Molecular Biology laboratory, Hamburg unit, Hamburg, Germany) ,  Snigireva I. (European Synchrotron Radiation Facility, 38043 Grenoble, France) ,  Yunkin V. (Institute of Microelectronics Technology RAS, Chernogolovka, Russia) ,  Snigirev A. (Immanuel Kant Baltic Federal University, 236041 Kaliningrad Russia)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 2299  号： 1  ページ： 060011-060011-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： X線屈折マイクロ光学の製造のためのイオンビームリソグラフィー(IBL)の能力を実証した。IBLの助けにより,現在の材料-ダイヤモンドの硬化を粉砕し,マイクロスケールダイヤモンドレンズを作製した。センスは,5μm未満の放物線頂点の半径を有する回転放物線プロファイルを有する。SEMとAFMで確認したように,作製したレンズの形状プロファイル誤差は<200nmであり,表面粗さは50nmと見積もられた。単一レンズは,高いアラインメント精度で1つの技術的プロセス内でCRLに積層した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 屈折 ,  *コヒーレンス ,  レンズ ,  *ダイヤモンド ,  *顕微鏡観察 ,  表面粗さ ,  *X線画像
準シソーラス用語： マイクロスケール ,  イオンビームリソグラフィー ,  シングルレンズ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： コヒーレント ,  X線イメージング ,  顕微鏡法 ,  ダイヤモンド