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J-GLOBAL ID:202002282972120802   整理番号:20A2787195

TiZrMnFeゲッタ合金の窒素吸収挙動と機構【JST・京大機械翻訳】

Nitrogen absorption behavior and mechanism of TiZrMnFe getter alloy
著者 (9件):
資料名:
巻: 183  ページ: Null  発行年: 2021年 
JST資料番号: E0347A  ISSN: 0042-207X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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Ti_xZr_1-xMnFe(x=0,0.1,0.2,0.3,0.4)のゲッタ合金をアーク融解によって調製し,その窒化挙動を調べた。製造したままのTiZrMnFe合金は単一ZrMn_2C_14ラベス構造を示し,Tiは結晶粒界に富んでいた。窒素吸着動力学は,初期吸収速度が遅くなるが,最終吸収量はTiの置換と共に増加することを示した。最大吸収容量は0.00367mol/gに改善し,ZrMnFeに比べて31%上昇した。窒化吸収中に形成した(Zr,Ti)Nの新しい相,一方,表面の窒化物合金の化学状態をXPSで確認した。少量の酸素が観察され,窒素の含有量は深さの増加とともに減少する。窒素吸収プロセスは,表面のN_2の吸収と解離,窒素原子の拡散,(Zr,Ti)N相の生成,および最終的には緻密な障壁に成長する(Zr,Ti)N粒子を含み,吸収は徐々に飽和する。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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真空技術  ,  金属薄膜 
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