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J-GLOBAL ID:202002283177486100   整理番号:20A0461850

固相微粒子プラズマの発生と浮遊する微粒子の回収

Generation of solid-phase fine particle plasmas and collection of levitating fine particles
著者 (3件):
資料名:
巻:号:ページ: 57-66 (WEB ONLY)  発行年: 2019年12月 
JST資料番号: U1167A  ISSN: 2432-5031  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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本研究では,プラズマ中の微粒子の挙動を制御するために,固相微粒子プラズマの形成とテフロン管を用いた浮遊微粒子の収集の機構を調べた。実験結果から,微粒子雲が電極表面付近に形成されたプラズマシースにトラップされていることが示唆された。また,引力は負に帯電した粒子コレクタと負に帯電した微粒子の間で,コレクタの表面近くの正に帯電したプラズマシースを介して働くことを確認した。また,エタノールガスを用いたCVD(化学蒸着法)法により,TiO2またはFe微粒子の炭素被覆を確立できることを確認した。これは微粒子のダイヤモンドまたはDLC(ダイヤモンド状炭素)被覆の第一段階である。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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プラズマ応用 
タイトルに関連する用語 (4件):
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