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J-GLOBAL ID：202002283530435816   整理番号：20A2446346

シリコンウエハのlayer-by-layerダイシングにより作製した実験的ミリ波3DウッドパイルEBG導波路【JST・京大機械翻訳】

Experimental millimiter-wave 3D woodpile EBG waveguide manufactured by layer-by-layer dicing of silicon wafers

著者 (6件)： Torrisi G. (Istituto Nazionale di Fisica Nucleare - Laboratori Nazionali del Sud (INFN-LNS), Via S. Sofia 62,Catania,95123) ,  Mauro G. S. (Istituto Nazionale di Fisica Nucleare - Laboratori Nazionali del Sud (INFN-LNS), Via S. Sofia 62,Catania,95123) ,  Locatelli A. (Universita` di Brescia, via Branze 38,Dipartimento di Ingegneria dell’informazione,Brescia,Italy,25123) ,  Celona L. (Istituto Nazionale di Fisica Nucleare - Laboratori Nazionali del Sud (INFN-LNS), Via S. Sofia 62,Catania,95123) ,  De Angelis C. (Universita` di Brescia, via Branze 38,Dipartimento di Ingegneria dell’informazione,Brescia,Italy,25123) ,  Sorbello G. (Universita` degli Studi di Catania, Viale Andrea Doria 6,Dipartimento di Ingegneria Elettrica,Elettronica e Informatica,Catania,Italia,95125)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： URSI GASS  ページ： 1-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,ミリ波帯域で動作するシリコンウッドパイル導波路の設計,製作および測定について報告する。3D電磁バンドGap(EBG)木材パイルを,シリコンウエハの精密ダイシング鋸によって作成した。標準矩形入力/出力金属導波路のTE_10モードと欠陥に沿って伝搬するEBG導波路のTE_10様モードの間の結合を最大化するために,構造中心座標に適切な空気欠陥を挿入し,サイズと形状を最適化した。カスタム金属-誘電体I/O遷移を含む製造デバイスは,96.6GHzの動作周波数で,-32dBと-0.46dBの全体的な|S_11|と|S_12|散乱パラメータを示し,これは,Ansys HFSSで得られたシミュレーション結果と非常に良く一致した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 最適化 ,  シミュレーション ,  誘電体 ,  鋸 ,  木材 ,  *EHF波 ,  *三次元 ,  *導波路 ,  周波数帯
準シソーラス用語： Sパラメータ ,  *シリコンウエハ ,  *ダイシング ,  動作周波数 ,  HFSS , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 符号理論  (ND02030R) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y) ,  音声処理  (JE05000E)

タイトルに関連する用語 (9件)： シリコンウエハ ,  ダイシング ,  作製 ,  実験 ,  ミリ波 ,  3D ,  パイル ,  EBG ,  導波路