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J-GLOBAL ID：202002284295337761   整理番号：20A2638951

LiTaO_3薄膜ベースセンサの電気的性質に及ぼす酸化インジウム(In_2O_3)ドーパントの影響【JST・京大機械翻訳】

The effect of indium oxide (In₂O₃) dopant on the electrical properties of LiTaO₃ thin film-based sensor

著者 (5件)： Djohan Nani (Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering and Computer Science, Universitas Kristen Krida Wacana, Jakarta, Indonesia) ,  Harsono Budi (Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering and Computer Science, Universitas Kristen Krida Wacana, Jakarta, Indonesia) ,  Liman Johansah (Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering and Computer Science, Universitas Kristen Krida Wacana, Jakarta, Indonesia) ,  Hardhienata Hendradi (Department of Physics, Faculty of Mathematics and Natural Sciences, IPB University, Bogor, Indonesia) ,  Husein Irzaman (Department of Physics, Faculty of Mathematics and Natural Sciences, IPB University, Bogor, Indonesia)
資料名： Ferroelectrics  (Ferroelectrics)
巻： 568  号： 1  ページ： 55-61  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,タンタル酸リチウム(LiTaO_3)薄膜ベースセンサの電気的性質に及ぼす酸化インジウム(In_2O_3)ドーパントの影響を調べた。LiTaO_3薄膜を化学溶液堆積(CSD)法を適用してp型Si(100)基板上に作製した。LiTaO_3薄膜を850°Cの温度で15時間アニールした。SEM-EDX(走査電子顕微鏡-エネルギー分散X線分光法)を用いて,表面形態と元素キャラクタリゼーション分析を得た。次に,LiTaO_3薄膜の誘電率値と光抵抗特性を測定し,薄膜の電気的性質に及ぼすIn_2O_3ドーパントの影響を決定した。SEM-EDX測定から,薄膜の表面はまだ不均一であることが観察された。したがって,電子流は妨げられる。元素原子組成分析に基づいて,インジウム原子がIn_2O_32%,4%および6%でドープしたLiTaO_3薄膜中に現れると思われる。薄膜誘電率計算の結果から,アンドープとIn_2O_3ドープLiTaO_3薄膜間の誘電率値は変化せず,2.44であった。光抵抗値は,インジウムドーパントが抵抗率を低下させるが,薄膜の伝導率を増加させることを示した。光抵抗特性測定結果に基づいて,LiTaO_3薄膜が光センサとして使用でき,In_2O_3ドーパントがLiTaO_3薄膜の伝導率を増加させると結論した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 焼なまし ,  走査電子顕微鏡 ,  電気抵抗率 ,  電子顕微鏡観察 ,  *薄膜 ,  誘電率 ,  *電気的性質 ,  *インジウム ,  ドーピング ,  *酸化インジウム ,  タンタル酸リチウム ,  *ドーパント ,  エネルギー分散X線分光分析
準シソーラス用語： 表面形態 ,  SEM-EDX ,  伝導率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： LiTaO_3薄膜 ,  In_2O_3ドーパント ,  SEM-EDX分光法 ,  誘電定数 ,  フォトレジストセンサ

分類 (1件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  電気的性質 ,  酸化インジウム ,  ドーパント