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J-GLOBAL ID：202002285227721436   整理番号：20A0916135

亀裂のない金属パターンを持つソフトで柔軟な3D構造デバイス【JST・京大機械翻訳】

Soft and Flexible 3D-Structured Device with Crack-Free Metal Patterns

著者 (2件)： Moon Hyunmin (Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology (DGIST),Daegu,Korea) ,  Kim Sohee (Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology (DGIST),Daegu,Korea)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： MEMS  ページ： 245-248  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,埋め込まれた亀裂のない金属パターンを有する三次元(3D)ソフトおよびフレキシブルデバイスの作製技術を提案した。PDMSとパリレン-Cの間の選択的結合の後に,導電性線とパッドのパターン形成のような付加的MEMS技術を,3D構造への変換の前に2D平面上で処理することができた。さらに,金属パターンにおける微小亀裂がソフトおよびフレキシブルデバイスの電気的接続および寿命に影響を及ぼす可能性があるので,製造プロセスを最適化して亀裂のない金属パターンを達成した。柔軟性,柔軟性および生体適合性のような有利な材料特性に基づいて,3D構造化デバイスは,種々の将来の応用のためのインプラント可能な生物医学デバイスとして使用されることが期待される。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *亀裂 ,  最適化 ,  柔軟性 ,  二次元 ,  *三次元 ,  微小亀裂 ,  生産工程 ,  生体適合性 ,  パターン形成 ,  導電性 ,  MEMS
準シソーラス用語： 生物医学 ,  パリレンC ,  作製技術 ,  フレキシブルデバイス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  音声処理  (JE05000E) ,  医用画像処理  (JE04020T) ,  符号理論  (ND02030R) ,  NMR一般  (BM07041R)

タイトルに関連する用語 (3件)： 亀裂 ,  ソフト ,  3D