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J-GLOBAL ID：202002286808073438   整理番号：20A1026573

レーザ誘起プラズマ支援アブレーション(LIPAA)を用いたポリカーボネート上のマイクロチャネルの機械加工【JST・京大機械翻訳】

Machining of micro-channels on polycarbonate by using Laser-Induced Plasma Assisted Ablation (LIPAA)

著者 (2件)： Sarma Upasana (Department of Mechanical Engineering, Indian Institute of Technology Guwahati, Guwahati 781039 India) ,  Joshi Shrikrishna N. (Department of Mechanical Engineering, Indian Institute of Technology Guwahati, Guwahati 781039 India)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 128  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロチャネルは,光学,ヘルスケア,エネルギーおよび消費者エレクトロニクス製品およびシステムの重要な部品を製造するために本質的に必要である。これらは,リソグラフィー,ワイヤ成形,化学エッチング,マイクロミリング,マイクロ放電加工,レーザマイクロマシニングなどの様々なプロセスを採用することにより製造できる。高い光学特性を有する透明材料のレーザに基づく機械加工は,可視および近赤外スペクトル範囲における透明材料の高透過率のために困難である。この挑戦はレーザ誘起プラズマ支援アブレーション(LIPAA)を用いることにより解決できる。本論文では,LIPAAプロセスを用いて透明材料ポリカーボネート上のマイクロチャネルの加工に関する実験的研究を報告した。Nd:YAGレーザを用いて,透明ポリカーボネート(PC)材料をアブレーションするために用いたアルミニウム基板上にプラズマを発生させた。入射レーザによるアルミニウムシートからの蒸気の相互作用は,逆制動放射吸収により拡大されるホットプラズマを生成する。拡張プラズマはPC上のマイクロチャネルの作製に成功した。本研究の重要な知見の一つは,長波長と長パルスが透明ポリカーボネート材料のマイクロマシニングに利用できることである。約4msの中程度のパルス幅と40Hzのパルス繰返し速度で,非常に低いパルスパワー密度(3.055MW/cm2)で清浄で均一なチャネルが得られた。処理した試料のEDX分析は,微量の酸素,アルミニウムおよび炭素堆積物のエッジとチャンネル層を示した。さらに,それを通して液体の漏れと制御できない流れを防ぐために,熱結合技術を用いて閉じたチャネルを形成した。最後に,レーザ誘起プラズマ支援アブレーション技術の持続可能性を,作製した閉じたマイクロチャネルの流れ試験を行うことにより確認した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プラズマ ,  *レーザプラズマ ,  アルミニウム ,  酸素 ,  炭素 ,  *ポリカーボネート ,  電子技術 ,  パルス ,  リソグラフィー ,  金属線 ,  *アブレーション ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  マイクロマシニング ,  Nd-YAGレーザ ,  *マイクロチャネル

著者キーワード (5件)： レーザ誘起プラズマ支援アブレーション ,  ポリカーボネート ,  マイクロチャネル ,  熱接着 ,  Nd:YAG

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザ誘起プラズマ ,  支援 ,  アブレーション ,  ポリカーボネート ,  マイクロチャネル ,  機械加工