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J-GLOBAL ID：202002287293677672   整理番号：20A0948767

並列位相シフト干渉法を用いたレーザアブレーションプロセスの高速イメージング

High-Speed Imaging of a Laser Ablation Process Using Parallel Phase-Shifting Interferometry

著者 (7件)： YASUDA Koichiro (Graduate School for Creation of New Photonics Ind., Shizuoka, JPN) ,  YASUDA Koichiro (DENSO CORP., Aichi, JPN) ,  TAKAGI Ryota (DENSO CORP., Aichi, JPN) ,  ISHII Katsuhiro (Graduate School for Creation of New Photonics Ind., Shizuoka, JPN) ,  FUJITA Kazuhisa (Graduate School for Creation of New Photonics Ind., Shizuoka, JPN) ,  SHIRAI Hideaki (DENSO CORP., Aichi, JPN) ,  TSUBOI Akihiko (Graduate School for Creation of New Photonics Ind., Shizuoka, JPN)
資料名： Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web)  (Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web))
巻： 14  号： 3  ページ： 220-225 (WEB ONLY)  発行年： 2019年12月 
JST資料番号： U0377A  ISSN： 1880-0688  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高速並列位相シフト干渉法を用いてレーザアブレーションプルームを特性化し,高繰返し速度過程でのパルス照射に及ぼす膨張プルームの影響を明らかにした。加工片の表面にパルスレーザを照射した後,アブレーションした材料は加工点から急速に膨張した。本論文における主な問題は,その後のパルス発生に及ぼす放出材料の影響である。超短パルスレーザ過程における工作物から放出される材料の影響を評価するために,高速並列位相シフト干渉法を用いて材料の形状と特性を可視化することに成功した。それらは,自己発光画像のみよりも大量の情報を提供し,放出された材料の空間分布のような定量的な値を提供することができた。これらの測定により,処理結果に及ぼす放出材料の影響を確認した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *干渉測定 ,  位相シフト ,  *レーザアブレーション ,  撮像 ,  画像処理 ,  高速アルゴリズム ,  高速化 ,  パルスレーザ ,  パルス幅 ,  周波数 ,  空間分布 ,  可視化 ,  キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： *位相シフト干渉法 ,  繰返し速度 ,  高速イメージング ,  短パルスレーザ

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

引用文献 (33件)：

• B.N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. Von Alvensleben, and A. Tünnermann: Appl. Phys. A, 63, (1996) 109.
• L. Shah, M. Fermann, J. Dawson, and P. Barty: Opt. Express., 14, (2006) 12546.
• C. Momma, B.N. Chichkov, S. Nolte, F. Von Alvensleben, A. Tünnermann, H. Welling, and B. Wellegehausen: Opt. Commun., 129, (1996) 134.
• K. Sugioka and Y. Cheng: Appl. Phys., 1, (2014) 041303.
• D.W. Bäuerle: Laser processing and chemistry, (Springer, Berlin, 2013) p.279.

タイトルに関連する用語 (4件)： 位相シフト干渉法 ,  レーザアブレーション ,  プロセス ,  高速イメージング