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J-GLOBAL ID：202002287482744508   整理番号：20A0672721

バッチ製造温度補償自己平坦化微細構造を用いたVOCセンシング【JST・京大機械翻訳】

VOC sensing using batch-fabricated temperature compensated self-leveling microstructures

著者 (6件)： Likhite Rugved (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Utah, Salt Lake City, USA) ,  Banerjee Aishwaryadev (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Utah, Salt Lake City, USA) ,  Majumder Apratim (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Utah, Salt Lake City, USA) ,  Karkhanis Mohit (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Utah, Salt Lake City, USA) ,  Kim Hanseup (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Utah, Salt Lake City, USA) ,  Mastrangelo Carlos H. (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Utah, Salt Lake City, USA)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 311  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 機械的に活用された構造の自己レベリングに基づく低電力,高分子ベースのVOCセンサの設計,製作,および応答を提示する。このデバイスは,付加的な補償センサやエレクトロニクスを必要とせずに,受動的な温度補償を達成するために,折畳まれた高分子被覆マイクロカンチレバーを利用する。自己レベリング蒸気センサは,単純なマイクロカンチレバー形状と同じガス応答を提供し,35~85%RH変化を受けると,温度が23~72°Cに上昇すると,ほぼゼロのベースラインドリフトを示し,単純なマイクロカンチレバー形状よりも約52倍優れていることを実証した。VOCセンサの応答を,5つの異なる検体(エタノール,アセトン,ベンゼン,ヘキサン,および水)に対して3つのポリマー(ポリイミド,ポリウレタン,およびPDMS)を用いて測定し,SVMベースモデルを用いて標的特異性を示した。また,センサは約138sの吸収応答時間(τ_90)を示した。自己レベリング蒸気センサ形状は,同じ性能を提供するが,温度誘起ベースラインドリフトのほぼ完全な除去を示すので,簡単なマイクロカンチレバー蒸気センサに対する著しい改善であることを提案した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： レベリング ,  膨潤 ,  微細構造 ,  *温度補償 ,  揮発性有機化合物 ,  応答時間 ,  ドリフト ,  *バッチ生産 ,  基準線 ,  ポリウレタン ,  電子技術 ,  センサ ,  高分子 ,  芳香族炭化水素 ,  脂肪族ケトン

著者キーワード (4件)： 容量センサ ,  高分子膨潤 ,  自己平準化 ,  揮発性有機化合物

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (2件)： ベンゼン ,  アセトン

タイトルに関連する用語 (7件)： バッチ製造 ,  温度補償 ,  自己 ,  平坦化 ,  微細構造 ,  VOC ,  センシング