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J-GLOBAL ID:202002287635104294   整理番号:20A0800254

自立膜を隔壁としたHeパスによる大気圧下軟X線吸収分光装置の開発

Development of Soft X-ray Absorption Spectroscopic Equipment at Atmospheric Pressure Using He-path with a Free-Standing Membrane as a Partition Wall
著者 (4件):
資料名:
巻: 51  ページ: 41-48  発行年: 2020年03月31日 
JST資料番号: Z0547B  ISSN: 0911-7806  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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揮発性物質や液体を大気圧下で,安価でかつ簡便に軟X線分光測定できる吸収分光装置を新規に開発した。この装置は厚さ100nmの薄型SiN自立膜を圧力隔壁とし,Heを満たした容器中に試料を置くことにより,電子収量法および蛍光収量法を用いて,試料の自由表面の軟X線分光測定ができる。この装置を用いて,標準固体試料,揮発性の高い固体試料,および水など数種類の液体試料について,O-K,C-K,Ti-L端における軟X線吸収スペクトルを大気圧下で測定することができた。(著者抄録)
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分類 (1件):
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X線技術 
引用文献 (10件):
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