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J-GLOBAL ID：202002288080568576   整理番号：20A0285328

フォトニック応用のためのエルビウム添加イットリア安定化ジルコニア薄層【JST・京大機械翻訳】

Erbium-Doped Yttria-Stabilized Zirconia Thin Layers for Photonic Applications

著者 (22件)： Ruiz-Caridad Alicia (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Collin Stephane (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Alonso-Ramos Carlos (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Agnus Guillaume (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Guerber Sylvain (Centre de Nanoscience et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Baudot Charles (TR&D STMicroelectronics SAS, Crolles, France) ,  Boeuf Frederic (TR&D STMicroelectronics SAS, Crolles, France) ,  Monfray Stephane (TR&D STMicroelectronics SAS, Crolles, France) ,  Cremer Sebastien (TR&D STMicroelectronics SAS, Crolles, France) ,  Vakarin Vladyslav (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Cassan Eric (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Marcaud Guillaume (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Marris-Morini Delphine (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Lecoeur Philippe (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Vivien Laurent (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Ramirez Joan Manel (III-V Lab, Palaiseau, France) ,  Zhang Jianhao (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Duran-Valdeiglesias Elena (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Lafforge Christian (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Largeau Ludovic (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Maroutian Thomas (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France) ,  Matzen Sylvia (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), CNRS, University Paris-Sud, University Paris-Saclay, Palaiseau, France)
資料名： IEEE Journal of Quantum Electronics  (IEEE Journal of Quantum Electronics)
巻： 56  号： 2  ページ： ROMBUNNO.7000107.1-7  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0432A  ISSN： 0018-9197  CODEN： IEJQA7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非従来の光学材料のハイブリッド集積は,従来のシリコンベースのプラットフォーム上のチップ機能性の範囲を実質的に拡張する有望な方法である。特に,機能性酸化物は,超伝導,圧電性,強誘電性,および光学効果を含む多くの魅力的な特性を示すので,非常に有望である。本論文では,低損失シリコン窒化物(SiN)導波路の上部に活性発光クラッドとして使用されるErドープ(Erドープ)イットリア安定化ジルコニア(YSZ)薄膜を有するハイブリッドフォトニックプラットフォームを実証した。この活性層をパルスレーザ蒸着(PLD)法により成長させた。Er:YSZ薄膜におけるErイオンの強い近赤外(近赤外)発光を実証するために,光ルミネセンス(PL)測定による光学特性評価を,正常および面内光入射の両方で行った。さらに,ハイブリッドEr:YSZ-on-SiNx導波路からの可視および近赤外波長における強い面内誘導PL発光も観測した。これらの結果は,シリコンベースのプラットフォーム上の希土類ドープYSZ構造への道を開き,それによって将来のフォトニック集積回路のために必要な機能の汎用性を与える。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： パルスレーザ蒸着 ,  超伝導 ,  光集積回路 ,  近赤外線 ,  発光 ,  光ルミネセンス ,  酸化物 ,  波長 ,  薄膜成長 ,  *エルビウム ,  ドーピング ,  ケイ素 ,  導波路 ,  *薄膜 ,  強誘電性 ,  イオン

分類 (3件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  半導体レーザ  (BD04070L) ,  レーザ一般  (BD04030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 応用 ,  エルビウム ,  イットリア安定化ジルコニア ,  薄層