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J-GLOBAL ID：202002289885659659   整理番号：20A1037861

指紋イメージングのための12インチガラスウエハ上のCMOS互換性a-Si金属【JST・京大機械翻訳】

CMOS-compatible a-Si metalenses on a 12-inch glass wafer for fingerprint imaging

著者 (13件)： Hu Ting (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Zhong Qize (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Li Nanxi (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Dong Yuan (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Xu Zhengji (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Fu Yuan Hsing (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Li Dongdong (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Bliznetsov Vladimir (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Zhou Yanyan (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Lai Keng Heng (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Lin Qunying (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Zhu Shiyang (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore) ,  Singh Navab (Institute of Microelectronics, Agency for Science Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, #08-02, Innovis, Singapore 138634, Singapore)
資料名： Nanophotonics (Web)  (Nanophotonics (Web))
巻： 9  号： 4  ページ： 823-830  発行年： 2020年 
JST資料番号： U8087A  ISSN： 2192-8614  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 人工サブ波長ナノ構造で作られた金属は,小型化されたサイズの光集束とイメージングの能力を示した。ここでは,相補的な金属-オキシド-半導体適合プロセスによる12インチのガラスウエハ上での大量生産可能な非晶質シリコン金属の実証について報告する。作製した金属レンズの測定した数値開口は,940nmの波長において1.26μmの集束スポットサイズをもつ0.496であった。画像分解能を試験するために,イメージングシステムに金属レンズを適用した。幅2.19μmの分解能チャートの最小バーを明確に観測した。さらに,同じシステムは指紋の画像化を実証し,将来の小型消費者エレクトロニクスのためのシステムサイズを低減するために,金属アレイを用いる概念を証明した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ガラス ,  集束 ,  *互換性 ,  消費者 ,  大量生産 ,  酸化物 ,  小型化 ,  *画像処理 ,  電子技術 ,  *指紋 ,  開口数 ,  ナノ構造 ,  アモルファスシリコン
準シソーラス用語： 画像化 ,  イメージングシステム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： メタ表面 ,  ガラスウエハ ,  金属

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光デバイス一般  (BD06010L) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 指紋 ,  イメージング ,  CMOS ,  互換性 ,  Si