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J-GLOBAL ID：202002290875315563   整理番号：20A0359495

直流プラズマ化学蒸着法によるナノ結晶ダイヤモンド膜の成長挙動に及ぼすメラミン流速の影響【JST・京大機械翻訳】

Influences of Melamine Flow Rate on the Growth Behavior of Nanocrystalline Diamond Films by Direct Current Plasma Chemical Vapor Deposition Method

著者 (4件)： Wu Chunlei (College of physics and electronic engineering, Mudanjiang Normal University, Mudanjiang157012, P. R. China) ,  Liu Yanfeng (College of physics and electronic engineering, Mudanjiang Normal University, Mudanjiang157012, P. R. China) ,  Hao Guodong (College of Chemistry and Chemical Engineering, Mudanjiang Normal University, Mudanjiang157012, P. R. China) ,  Zhu Ruihua (College of physics and electronic engineering, Mudanjiang Normal University, Mudanjiang157012, P. R. China)
資料名： IOP Conference Series: Materials Science and Engineering  (IOP Conference Series: Materials Science and Engineering)
巻： 678  号： 1  ページ： 012166 (6pp)  発行年： 2019年 
JST資料番号： W5559A  ISSN： 1757-8981  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メラミンの異なる流量の条件で,直接電流ホットカソードプラズマ化学蒸着(PCVD)法により,インチ_4/H_2雰囲気,窒素ドープナノ結晶ダイヤモンド膜を調製した。メラミンの流量は2sccmであるが,ダイヤモンド膜に及ぼす結晶粒微細化効果は明らかであり,ナノ結晶粒は粗い表面を形成する膜に基づいて突出する。膜は欠陥と同様に大きなギャップと正孔のために緻密でないが,これらの膜の伝導率は増加する。メラミンの流速の増加は(111)配向の成長を促進する。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電流 ,  *流速 ,  *直流 ,  流量 ,  正孔 ,  *プラズマCVD ,  *ナノ結晶 ,  結晶粒微細化 ,  窒素複素環化合物
準シソーラス用語： 伝導率 ,  *ダイヤモンド膜 ,  窒素ドーピング ,  *ナノ結晶ダイヤモンド膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： メラミン

タイトルに関連する用語 (7件)： 直流 ,  プラズマ化学蒸着法 ,  ナノ結晶ダイヤモンド膜 ,  成長 ,  挙動 ,  メラミン ,  流速