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J-GLOBAL ID:202002293782345016   整理番号:20A0143429

一酸化炭素レーザの極低温プラズマにおけるオゾンの役割【JST・京大機械翻訳】

Role of ozone in cryogenic plasma of carbon monoxide laser
著者 (8件):
資料名:
巻: 11322  ページ: 113220J-6  発行年: 2019年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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グロー放電による低温COレーザとRF放電による低温スラブCOレーザの研究で得られた実験データの解析は,レーザ混合物中の酸素濃度が初期ガス混合物中よりはるかに小さいことを示した。低酸素含有量では,オゾンは低温放電における電子の供給者の役割を果たす。オゾンのイオン化ポテンシャルは酸素のそれよりいくらか高いので,オゾンは極低温放電の低温壁に急速に凝縮し,O_2からO_3への変換は加速される。さらに,プラズマ化学反応において,オゾンは解離後一酸化炭素を再生する。低温バリア放電におけるオゾン発生の加速を実験的に実証した。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  成層圏・中間圏 
タイトルに関連する用語 (5件):
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