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J-GLOBAL ID：202002295401087148   整理番号：20A0130638

ブロック共重合体テンプレート内の空間制御成長による金属酸化物ヘテロ構造アレイ【JST・京大機械翻訳】

Metal Oxide Heterostructure Array via Spatially Controlled-Growth within Block Copolymer Templates

著者 (5件)： Azoulay Rotem (Department of Chemical Engineering, Technion - Israel Institute of Technology, Haifa, 32000, Israel) ,  Shomrat Neta (Department of Chemical Engineering, Technion - Israel Institute of Technology, Haifa, 32000, Israel) ,  Weisbord Inbal (Department of Chemical Engineering, Technion - Israel Institute of Technology, Haifa, 32000, Israel) ,  Atiya Galit (Department of Materials Science and Engineering, Technion - Israel Institute of Technology, Haifa, 32000, Israel) ,  Segal-Peretz Tamar (Department of Chemical Engineering, Technion - Israel Institute of Technology, Haifa, 32000, Israel)
資料名： Small  (Small)
巻： 15  号： 51  ページ： e1904657  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2348A  ISSN： 1613-6810  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ作製は,それらの化学組成にわたって3D制御を有する3Dナノ構造を作製するための新しい方法論を連続的に探索している。ブロック共重合体(BCP)テンプレート内の多重金属酸化物の空間的に制御された成長によるヘテロ構造ナノロッドアレイ作製のための新しいアプローチを提示した。ポリスチレン-ブロック-ポリメタクリル酸メチルの円筒状高分子ドメイン内の金属酸化物の選択的成長を逐次浸透合成(SIS)を用いて行った。BCP膜中のトリメチルアルミニウムとジエチル亜鉛有機金属前駆体の拡散を調整することにより,単一SISプロセスにおいて,円筒BCPドメイン内の異なる位置へのAlO_xとZnOの成長を指示した。BCP除去は,走査透過型電子顕微鏡(STEM)トモグラフィーおよびSTEMとエネルギー分散X線分光法トモグラフィーの組合せによる3D特性化によって確証されるように,AlO_x-ZnOヘテロ構造ナノロッド配列をもたらす。ここで提示した戦略は,複雑な3Dナノ構造作製のための新しい道を開くであろう。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 前駆体 ,  *金属酸化物 ,  ナノ構造 ,  酸化亜鉛 ,  高分子 ,  多重化 ,  ナノメータ加工 ,  三次元 ,  トモグラフィー ,  選択成長 ,  有機金属化合物 ,  *ブロック共重合体 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  浸透 ,  化学組成

著者キーワード (4件)： ブロック共重合体 ,  ヘテロ構造 ,  ナノ加工 ,  逐次浸透合成

分類 (2件)： 電気化学反応  (CB07050F) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： ブロック共重合体 ,  テンプレート ,  成長 ,  金属酸化物 ,  ヘテロ構造 ,  アレイ