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J-GLOBAL ID：202002298623121482   整理番号：20A0420240

LiNbO_3薄膜成長のためのSiO_2バッファ層の形成【JST・京大機械翻訳】

Formation of SiO₂ buffer layer for LiNbO₃ thin films growth

著者 (10件)： Vakulov Z E (Research and Education Center ≪Nanotechnology≫, Sothern Federal University, Taganrog 347922, Russia) ,  Klimin V S (Research and Education Center ≪Nanotechnology≫, Sothern Federal University, Taganrog 347922, Russia) ,  Klimin V S (Institute of Nanotechnologies, Electronics and Equipment Engineering, Southern Federal University, Taganrog 347922, Russia) ,  Rezvan A A (Institute of Nanotechnologies, Electronics and Equipment Engineering, Southern Federal University, Taganrog 347922, Russia) ,  Tominov R V (Research and Education Center ≪Nanotechnology≫, Sothern Federal University, Taganrog 347922, Russia) ,  Korzun K (Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology, 5600 MB, The Netherlands) ,  Kots I N (Research and Education Center ≪Nanotechnology≫, Sothern Federal University, Taganrog 347922, Russia) ,  Polyakova V V (Research and Education Center ≪Nanotechnology≫, Sothern Federal University, Taganrog 347922, Russia) ,  Ageev O A (Research and Education Center ≪Nanotechnology≫, Sothern Federal University, Taganrog 347922, Russia) ,  Ageev O A (Institute of Nanotechnologies, Electronics and Equipment Engineering, Southern Federal University, Taganrog 347922, Russia)
資料名： Journal of Physics: Conference Series  (Journal of Physics: Conference Series)
巻： 1410  号： 1  ページ： 012042 (5pp)  発行年： 2019年 
JST資料番号： W5565A  ISSN： 1742-6588  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,パルスレーザ蒸着によって形成されたナノ結晶LiNbO_3膜の形態パラメータに及ぼすSiO_2バッファ層厚の影響の研究の結果を示した。SiO_2バッファ層の厚さが10nmから50nmに増加すると,LiNbO_3膜の粗さは5.1nmから4.4nmに減少した。粒径(118nm)の最小値は50nmに等しいバッファ層の厚さに対応する。得られた結果は,表面音響波の様々な効果を用いたセンサの高感度素子と同様に,集積音響光学と圧電素子の設計と製造に使用できる。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *バッファ層 ,  粒径 ,  *薄膜成長 ,  表面粗さ ,  弾性表面波 ,  圧電素子 ,  パルスレーザ蒸着 ,  音響 ,  ナノ結晶 ,  層厚 ,  高感度 ,  センサ
準シソーラス用語： *一酸化ケイ素 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (2件)： 薄膜成長 ,  バッファ層